一种用于晶圆搬运的水平关节机器人的制作方法

1.本实用新型属于运输设备技术领域，特别是涉及一种用于晶圆搬运的水平关节机器人。


背景技术：

2.现有的四轴平面运动机器人由4个电机分别驱动，驱动装置布置在关节上，该种布置主式存在转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点，在操作空间大和大负载的工作环境中，缺点表现更明显，同时，驱动装置布置在关节上，小臂上的零部件较多，占据的空间也比较大，对小臂的防尘罩体积也较大。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，解决现有的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.本实用新型为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱、大臂、和二臂，所述机箱上表面安装有机箱盖，所述机箱内表面安装有搬运机座，用来安装大臂电机，所述搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，用来固定大臂电机，所述大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，所述大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮，通过转动同步轮与旋转同步轮之间的啮合，便于带动大臂转动，所述转动同步轮下表面安装有中空减速机下，所述大臂电机输出端安装有联轴器，所述联轴器下表面安装有中空减速机上，所述中空减速机上与中空减速机下之间安装有减速机同步轮，所述安装支架外表面安装有安装电机，所述安装电机输出端外表面安装有传送轮，所述传送轮外表面安装有传送带，所述传送带外表面安装有移动板，所述搬运机座下表面与移动板表面连接，通过控制安装电机，利用传送轮旋转带动传送带移动，从而使移动板移动，使搬运机座能够上下移动。
6.优选地，所述中空减速机上安装在大臂内表面，所述大臂内表面安装有大臂被动同步轮，所述大臂被动同步轮内表面安装有固定转轴，所述大臂被动同步轮下表面安装有大臂外圈，所述大臂外圈下表面安装有同步轮连接盘，所述同步轮连接盘下表面安装有轴承，所述固定转轴下表面安装有压盖板，防止灰尘，所述固定转轴外表面安装有二臂主动同步轮，方便带动末端臂板。
7.优选地，所述二臂主动同步轮安装在二臂内表面，所述二臂内表面安装有二臂外圈，所述二臂外圈内表面安装有二臂内圈，所述二臂内圈下表面安装有末端同步轮，用来带动末端臂板转动，所述末端同步轮下表面安装有末端臂板。
8.优选地，所述搬运机座内表面安装有同步电机，所述同步电机下表面安装有减速机，所述减速机下表面安装有旋转同步轮，所述转动同步轮与旋转同步轮啮合。
9.优选地，所述搬运机座下表面安装有同步带护罩、同步轮护罩以及同步带盖板，所述大臂下表面安装有大臂圆盖板，所述二臂下表面安装有二臂盘盖板和弧盖板，用来对设
备进行保护，也能够起到防尘的作用。
10.优选地，所述机箱外表面安装有电源接头板。
11.本实用新型具有以下有益效果：
12.本实用新型通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。
13.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型中机器人的整体结构示意图
17.图3为本实用新型中机器人的主视结构示意图；
18.图4为图3中a-a剖面结构示意图；
19.图5为图4中a部分局部放大图；
20.图6为图4中b部分局部放大图；
21.图7为图4中c部分局部放大图；
22.图8为本实用新型中机器人的等轴测结构示意图；
23.图9为本实用新型中机器人的左视结构示意图。
24.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
25.1、机箱；2、机箱盖；3、搬运机座；4、大臂电机内圈；5、转动同步轮；6、联轴器；7、同步带护罩；8、同步轮护罩；9、同步电机；10、减速机； 11、大臂圆盖板；12、大臂电机；13、同步带盖板；14、大臂；15、大臂外圈；16、固定转轴；17、大臂被动同步轮；18、同步轮连接盘；19、轴承；20、中空减速机下；21、中空减速机上；22、减速机同步轮；23、二臂主动同步轮；24、二臂外圈；25、二臂内圈；26、末端同步轮；27、二臂盘盖板； 28、弧盖板；29、末端臂板；30、压盖板；31、电源接头板；32、二臂；33、旋转同步轮；34、安装支架；35、安装电机；36、传送轮；37、传送带；38、移动板。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元
件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.如图所示，本实用新型为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱1、大臂14、和二臂32，机箱1上表面安装有机箱盖2，机箱1内表面安装有搬运机座3，用来安装大臂电机12，搬运机座3内表面安装有大臂电机内圈4，用来固定大臂电机12，大臂电机内圈4上表面安装有大臂电机12，大臂电机内圈4下表面安装有转动同步轮5，转动同步轮5下表面安装有中空减速机下20，大臂电机12输出端安装有联轴器6，联轴器6下表面安装有中空减速机上21，中空减速机上21与中空减速机下20之间安装有减速机同步轮22，通过转动同步轮22与旋转同步轮33之间的啮合，便于带动大臂12 转动，安装支架34外表面安装有安装电机35，安装电机35输出端外表面安装有传送轮36，传送轮36外表面安装有传送带37，传送带37外表面安装有移动板38，搬运机座3下表面与移动板38上表面连接，通过控制安装电机，利用传送轮旋转带动传送带移动，从而使移动板移动，使搬运机座能够上下移动。
29.其中，中空减速机上21安装在大臂14内表面，大臂14内表面安装有大臂被动同步轮17，大臂被动同步轮17内表面安装有固定转轴16，大臂被动同步轮17下表面安装有大臂外圈15，大臂外圈15下表面安装有同步轮连接盘18，同步轮连接盘18下表面安装有轴承19，固定转轴16下表面安装有压盖板30，防止灰尘，固定转轴16外表面安装有二臂主动同步轮23，方便带动末端臂板29。
30.其中，二臂主动同步轮23安装在二臂32内表面，二臂32内表面安装有二臂外圈24，二臂外圈24内表面安装有二臂内圈25，二臂内圈25下表面安装有末端同步轮26，用来带动末端臂板29转动，末端同步轮26下表面安装有末端臂板29。
31.其中，搬运机座3内表面安装有同步电机9，同步电机9下表面安装有减速机10，减速机10下表面安装有旋转同步轮33，转动同步轮5与旋转同步轮33啮合。
32.其中，搬运机座3下表面安装有同步带护罩7、同步轮护罩8以及同步带盖板13，大臂14下表面安装有大臂圆盖板11，二臂32下表面安装有二臂盘盖板27和弧盖板28，用来对设备进行保护，同时也能够起到防尘的作用。
33.其中，机箱1外表面安装有电源接头板31。
34.本实用新型为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其中同步电机9的型号为y80s2-2，大臂电机12的型号为y90s-1，安装电机35的型号为 y80s1-2，通过控制同步电机9的转动，带动旋转同步轮33旋转，利用转动同步轮5与旋转同步轮33啮合，并且，通过对大臂电机12的控制，使大臂 14进行转动，通过减速机10的安装并且通过中空减速机上21、中空减速机下20以及减速机同步轮22，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。
35.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
36.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地
解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。