大气电浆处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2921485

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大气电浆处理装置[0001 ] 本实用新型涉及一种电浆技术,特别是涉及一种大气电浆处理装置。技术背景[0002]现有的电浆处理装置由两平行电极板、一气体入口及一电浆出口所组成,气体进入该气体入口后,通过所述平行电极板之间的电场产生粒子碰撞后形成电浆喷出。[0003]所述电浆喷射常用于进行薄膜形成、蚀刻、表面改质、有机污染物去除、清洗、排水化、亲水化等表面处理。[0004]现有的电浆处理装置存在下列缺点[0005]一、从该气体入口到该电浆出口之间,常因气体流...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用