专利名称：大气电浆处理装置的制作方法
技术领域：
大气电浆处理装置技术领域[0001 ] 本实用新型涉及一种电浆技术，特别是涉及一种大气电浆处理装置。
技术背景[0002]现有的电浆处理装置由两平行电极板、一气体入口及一电浆出口所组成，气体进入该气体入口后，通过所述平行电极板之间的电场产生粒子碰撞后形成电浆喷出。[0003]所述电浆喷射常用于进行薄膜形成、蚀刻、表面改质、有机污染物去除、清洗、排水化、亲水化等表面处理。[0004]现有的电浆处理装置存在下列缺点[0005]一、从该气体入口到该电浆出口之间，常因气体流量不均勻，导致喷出的电浆密度不均勻，极易造成表面处理不完全，影响作业质量。[0006]二、现有的电浆处理装置不易实施于大幅宽的大气电浆装置，因为大幅宽的大气电浆装置空间较大，会因流动间隙过大导致气体流量不均勻，使得喷出的电浆密度也不均勻，导致表面处理不完全，影响作业质量。[0007]三、空间较大的气室容易抑制气体流动速度，使得电浆的喷出速度较慢，影响作业效率。发明内容[0008]本实用新型的目的在于提供一种可以使气体流量均勻以提升作业质量，可以实施于大幅宽的大气电浆装置，可以提高作业效率的大气电浆处理装置。[0009]本实用新型大气电浆处理装置包含一处理台、至少一个气体分流单元、一放电气室、一对电极及一高压电源，其特征在于[0010]所述气体分流单元包括设置于该处理台的一个缓冲气室，及位于所述缓冲气室内的一个气体流量均勻件，所述缓冲气室具有一气体入口及一气体出口。[0011]该放电气室设置于该处理台并与所述气体出口连接。[0012]所述电极分别位于该放电气室两侧，所述电极被绝缘体包覆并与该高压电源串连。[0013]本实用新型所述的大气电浆处理装置，该大气电浆处理装置还包含设置于该处理台且位于所述缓冲气室与该放电气室之间的至少一个狭缝。[0014]本实用新型所述的大气电浆处理装置，该大气电浆处理装置设有两个气体分流单元，及包含一设置于该处理台且位于所述气体分流单元之间的分隔块，该分隔块具有至少一个位于所述狭缝内的斜边。[0015]本实用新型所述的大气电浆处理装置，所述气体流量均勻件为多孔分流块，该多孔分流块具有多个小孔。[0016]本实用新型所述的大气电浆处理装置，所述气体流量均勻件为分歧气管块，该分歧气管块内具有多阶分歧管，且位于一输入口两侧的两分歧管的长度相同。[0017]本实用新型的有益效果在于通过所述气体分流单元的气体流量均勻件，可以使气体均勻地流入该放电气室，最后使气体电浆化形成电浆均勻喷出，进而可以提升作业质量。
[0018]图1是本实用新型大气电浆处理装置第一较佳实施例的示意图；[0019]图2是本实用新型大气电浆处理装置第二较佳实施例的示意图；[0020]图3是本实用新型大气电浆处理装置的一多孔分流块的示意图；[0021]图4是本实用新型大气电浆处理装置的一分歧气管块的示意图。
具体实施方式
[0022]
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。[0023]要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。[0024]如图1所示，本实用新型第一较佳实施例的大气电浆处理装置100包含一处理台 1，及设置于该处理台1的一气体分流单元2、一狭缝3、一放电气室4、一对电极5和一高压电源9。[0025]该气体分流单元2包括一缓冲气室21及一位于该缓冲气室21内的气体流量均勻件22。[0026]该缓冲气室21具有一气体入口 211及一气体出口 212。[0027]该气体流量均勻件22具有可以使气体流入并均勻流出的使用效果，在本实用新型中，该气体流量均勻件22可为如图3所示的多孔分流块22a，或如图4所示的分歧气管块 22b。该多孔分流块22a内具有多个小孔23。该分歧气管块22b内具有多阶分歧管M，且位于一输入口 25两侧的两分歧管M的长度L1、L2相同，较佳地，所有分流后的两分歧管的长度都相同。通过该多孔分流块22a的多个小孔23的设计，或通过该分歧气管块22b的多阶分歧管M的设计，当气体自该气体入口 211进入，流经该气体流量均勻件22，也就是该多孔分流块2 或该分歧气管块22b，可以使气体流量均勻地自该气体出口 212流出。[0028]该放电气室4设置于该处理台1并与该气体出口 212连接，且该放电气室4具有一电浆出口 41。[0029]该狭缝3设置于该处理台1且位于该缓冲气室21的气体出口 212与该电气室4 之间。[0030]所述电极5分别设置于该处理台1并位于该放电气室4两侧，所述电极5被绝缘体51包覆并与该高压电源9串连，可以使该放电气室4内产生电场。[0031]使用时，将欲电浆化的气体自该气体入口 211输入，接着流入该气体流量均勻件 22使气体流量均勻地自该气体出口 212流出，然后进入该狭缝3再进入该放电气室4，最后通过该放电气室4内的电场使气体电浆化形成电浆经由该电浆出口 41喷出。因为该狭缝 3的空间较该气体入口 211处的空间小，所以当气体进入该狭缝3后，将加快速度进入该放电气室4，可以产生加快电浆喷出速度的效果。[0032]如图2所示，本实用新型第二较佳实施例的大气电浆处理装置200包含一处理台 1，及设置于该处理台1的两气体分流单元2、一分隔块6、两狭缝7、一放电气室4、一对电极5和一高压电源9。[0033]所述气体分流单元2呈分开地设置于该处理台1，本第二较佳实施例将该分隔块6 设置于该处理台1且位于所述气体分流单元2之间，使所述气体分流单元2分开。[0034]本第二较佳实施例的气体分流单元2与第一较佳实施例的气体分流单元2相同， 包括一缓冲气室21及一位于该缓冲气室21内的气体流量均勻件22。该缓冲气体21具有一气体入口 211及一气体出口 212。该气体流量均勻件22具有可以使气体流入并均勻流出的使用效果，该气体流量均勻件22可为如图3所示的多孔分流块22a，或如图4所示的分歧气管块2%。[0035]该放电气室4设置于该处理台1并与所述气体出口 212连接，该放电气室4具有一电浆出口 41。[0036]所述电极5分别设置于该处理台1并位于该放电气室4两侧，所述电极5被绝缘体51包覆且与该高压电源9串连，可以使该放电气室4内产生电场。[0037]所述狭缝7设置于该处理台1且分别位于所述缓冲气室21的气体出口 212与该电气室4之间。[0038]该分隔块6具有两个分别位于所述狭缝7内的斜边61，用以引导气体进入该放电气室4。[0039]使用时，将欲电浆化的气体自所述气体入口 211输入，接着流入所述气体流量均勻件22使气体流量均勻地自所述气体出口 212流出，然后进入所述狭缝7并通过所述斜边 61将气体引导进入该放电气室4，最后通过该放电气室4内的电场使气体电浆化形成电浆并经由该电浆出口 41喷出。因为所述狭缝7的空间较该气体入口 211处的空间小，再搭配该分隔块6的两斜边61具有可以引导气体的功能，借此可以使气体加快速度进入该放电气室4，产生加快电浆喷出速度的效果。[0040]值得说明的是，所述气体分流单元2除了可以安装于本实施新型大气电浆处理装置，也可以安装于静电消除器。[0041]通过以上说明可知，本实用新型大气电浆处理装置具有下述有益效果[0042]一、本实用新型通过所述气体分流单元2的气体流量均勻件22，可以使欲电浆化的气体均勻地流入该放电气室4，最后使气体电浆化形成电浆并经由该电浆出口 41均勻喷出，可以使表面处理完全，可以提升作业质量。[0043]二、本实用新型具有可以使喷出的电浆密度较均勻的使用特性，可以实施于大幅宽的大气电浆装置。[0044]三、本实用新型通过所述狭缝的设计，可以使气体加快速度进入该放电气室4，可以加快电浆的喷出速度，可以提高作业效率。
权利要求1.一种大气电浆处理装置，包含一处理台、至少一个气体分流单元、一放电气室、一对电极及一高压电源，其特征在于所述气体分流单元包括设置于该处理台的一个缓冲气室，及位于所述缓冲气室内的一个气体流量均勻件，所述缓冲气室具有一气体入口及一气体出口 ； 该放电气室设置于该处理台并与所述气体出口连接；所述电极分别位于该放电气室两侧，所述电极被绝缘体包覆并与该高压电源串连。
2.根据权利要求1所述的大气电浆处理装置，其特征在于该大气电浆处理装置还包含设置于该处理台且位于所述缓冲气室与该放电气室之间的至少一个狭缝。
3.根据权利要求2所述的大气电浆处理装置，其特征在于该大气电浆处理装置设有两个气体分流单元，及一设置于该处理台且位于所述气体分流单元之间的分隔块，该分隔块具有至少一个位于所述狭缝内的斜边。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的大气电浆处理装置，其特征在于 所述气体流量均勻件为多孔分流块，该多孔分流块具有多个小孔。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的大气电浆处理装置，其特征在于所述气体流量均勻件为分歧气管块，该分歧气管块内具有多阶分歧管，且位于一输入口两侧的两分歧管的长度相同。
专利摘要一种大气电浆处理装置，包含一处理台、至少一个气体分流单元、一放电气室、一对电极及一高压电源。所述气体分流单元包括设置于该处理台的一个缓冲气室，及位于所述缓冲气室内的一个气体流量均匀件，所述缓冲气室具有一气体入口及一气体出口，该放电气室设置于该处理台并与所述气体出口连接，所述电极分别位于该放电气室两侧且被绝缘体包覆，所述电极与该高压电源串连以使该放电气室内产生电场。借此，当气体自所述气体入口进入并通过所述气体流量均匀件，可以使气体均匀地流入该放电气室，最后使气体电浆化形成电浆均匀喷出，进而可以提升作业质量。
文档编号H01J37/32GK202275797SQ201120403599
公开日2012年6月13日 申请日期2011年10月21日 优先权日2010年12月14日
发明者林博镛, 陈宏易, 黄俊铭 申请人:韶阳科技股份有限公司