技术编号:29239457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及化工设备技术领域,具体涉及一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置。背景技术.随着半导体行业的发展,对湿电子化学品的微量金属杂质含量、颗粒粒径和数量、阴离子杂质含量等方面要求越来越严,市场越来越需要更加超纯的电子级化学品及气体。目前,电子级氨气与电子级氨水是半导体行业常用的主要超纯化学材料,在集成电路、lcd等制造行业中有着重要作用,其中,电子级氨气主要用于芯片的清洗、蚀刻、掺杂和沉淀工艺,电子级氨水在集成电路行业中主要利用其弱碱性去除硅晶圆表面附着的颗粒和有机物,对于硅、钴金属...
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