技术编号：2927071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。碳纳米管、具备其的基板及电子发射元件、 碳纳米管合成用基板、以及它们的制造方法及制造装置技术区域本发明涉及高密度且高取向性的碳纳米管、具备该碳纳米管的基板及 电子发射元件、该碳纳米管合成用基板、以及它们的制造方法及制造装置。背景技术在以往的微加工电子发射元件中，采用金属、硅及它们的化合物作为 元件的材料。这些材料尤其成为发射电子的面的最表面因在空气中容易被 氧化而成为氧化物，该氧化物的功函数高，因此，结果是上述电子发射元 件的功函数变高。此外，由于金属、硅...
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