技术编号：2927956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及图形修正装置及其涂布单元，尤其涉及对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置及其涂布单元。更特定地说，本发明涉及对平板显示器的制造工序中发生的电极的开口缺陷、等离子显示器的凸肋(隔壁)缺损、液晶滤色器的白缺陷、掩模的缺陷等进行修正的图形修正装置和用于它的涂布单元。背景技术 近年来，随着等离子显示器、液晶显示器、EL显示器等平板显示器的大型化、高精细化，在显示器的制造工序中，在基板上的电极和凸肋等上会发生缺陷、或者液晶滤色器的着色层发生...
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