技术编号：29318933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种采用龙门结构的无振动xy运动平台技术领域.本发明属于电镜扫描仪技术领域，具体涉及一种采用龙门结构的无振动xy运动平台。背景技术.目前电镜扫描仪所采用的xy运动平台，其y轴电机通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动y轴移动模组，其x轴电机位于y轴移动模组之上，并且x轴电机也通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动x轴移动模组(即玻片扫描部分)。.此类结构缺点是：x轴电机、y轴电机及齿轮齿条产生的振动将直接通过机械结构传导至前端扫描部分(即玻片扫描部分)，从而导致扫描平台在移动时振动，进而导致扫描图像模糊，...
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