一种采用龙门结构的无振动XY运动平台的制作方法

一种采用龙门结构的无振动xy运动平台
技术领域
1.本发明属于电镜扫描仪技术领域，具体涉及一种采用龙门结构的无振动xy运动平台。


背景技术：

2.目前电镜扫描仪所采用的xy运动平台，其y轴电机通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动y轴移动模组，其x轴电机位于y轴移动模组之上，并且x轴电机也通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动x轴移动模组(即玻片扫描部分)。
3.此类结构缺点是：x轴电机、y轴电机及齿轮齿条产生的振动将直接通过机械结构传导至前端扫描部分(即玻片扫描部分)，从而导致扫描平台在移动时振动，进而导致扫描图像模糊，严重影响检测准确性。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的缺陷，本发明旨在提供一种采用龙门结构的无振动xy运动平台，尽可能地消除扫描平台移动时的振动。
5.为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
6.一种采用龙门结构的无振动xy运动平台，包括大底板、移动龙门组件、y轴动力组件、y轴移动模组、x轴动力组件和x轴移动模组；所述y轴移动模组设置在所述大底板的上表面中部，所述移动龙门组件可移动地架设在所述y轴移动模组的上方，所述移动龙门组件的移动方向与所述y轴移动模组的移动方向相同，且所述移动龙门组件与所述y轴移动模组柔性连接；所述y轴动力组件位于所述移动龙门组件的一侧，所述y轴动力组件与所述大底板固定连接，所述y轴动力组件与所述移动龙门组件的侧表面柔性连接；所述x轴动力组件设置在所述移动龙门组件上，所述x轴移动模组设置在所述y轴移动模组上，所述x轴动力组件与所述x轴移动模组柔性连接。
7.进一步的，所述大底板设置在前后两个底板支架上，且前后两个所述底板支架之间连接有加强筋。
8.进一步的，所述移动龙门组件包括龙门横梁板、龙门推块左立柱、龙门推块右立柱、龙门y轴右导轨、龙门y轴右导轨底板、龙门y轴右导轨滑块和龙门y轴右导轨滑块固定板；所述龙门推块右立柱的上端与所述龙门横梁板右端的下表面固定连接，所述龙门推块右立柱的下端通过所述龙门y轴右导轨滑块固定板设置有所述龙门y轴右导轨滑块，所述龙门y轴右导轨通过所述龙门y轴右导轨底板固定在所述大底板上表面的右侧，所述龙门y轴右导轨滑块与所述龙门y轴右导轨滑动连接，所述龙门推块左立柱的上端与所述龙门横梁板左端的下表面固定连接，所述龙门推块左立柱的下端用于与所述y轴动力组件柔性连接，所述龙门横梁板的上表面用于安装所述x轴移动模组，所述龙门横梁板的前、后侧面用于与所述y轴移动模组柔性连接。
9.进一步的，所述y轴动力组件包括y轴动力组件底板、y轴电机、y轴圆柱齿轮、y轴电
机抱块、y轴电机支架、y轴电机底座、龙门y轴左导轨、龙门y轴左导轨滑块、y轴齿条、y轴齿条固定板和y轴软垫推块；所述y轴动力组件底板与所述大底板的左侧固定连接，所述龙门y轴左导轨设置在所述y轴动力组件底板上，且所述龙门y轴左导轨与所述所述龙门y轴右导轨平行，所述龙门y轴左导轨滑块可滑动地设置在所述龙门y轴左导轨上，所述y轴齿条固定板固定在所述龙门y轴左导轨滑块上，所述y轴齿条固定板通过所述y轴软垫推块与所述龙门推块左立柱的下端连接，所述y轴齿条设置在所述y轴齿条固定板上，所述y轴电机底座同样设置在所述y轴动力组件底板上，所述y轴电机底座依次通过所述y轴电机支架和所述y轴电机抱块设置有所述y轴电机，所述y轴圆柱齿轮设置在所述y轴电机的输出轴上，所述y轴圆柱齿轮与所述y轴齿条啮合。
10.进一步的，所述y轴动力组件底板为下沉式底板，所述y轴动力组件底板上表面的边缘设置有一圈挡边，所述y轴动力组件底板的上表面在所述挡边的包围下形成下沉槽，所述龙门y轴左导轨和所述y轴电机底座均设置在所述下沉槽内，同时，所述大底板上开设有用于避让所述y轴动力组件的避让孔，所述y轴动力组件底板位于所述避让孔的下方，且所述y轴动力组件底板的挡边与所述大底板的下表面固定连接。
11.进一步的，所述y轴移动模组包括扫描区固定底板、y轴滑动区下底座、y轴滑动区下底座中间靠板、y轴滑动区上顶板、y轴滑动区上顶板顶丝板、交叉滚柱导轨、x轴滑动扫描区底板和龙门推块，所述扫描区固定底板与所述大底板固定连接，所述y轴滑动区下底座设置在所述扫描区固定底板的中部，所述y轴滑动区下底座中间靠板设置在所述y轴滑动区下底座的中部，所述y轴滑动区上顶板通过两组所述交叉滚柱导轨与所述y轴滑动区下底座滑动连接，两组所述交叉滚柱导轨分别贴设在所述y轴滑动区下底座中间靠板的左右两侧，所述y轴滑动区下底座中间靠板两侧精磨，以保证两组所述交叉滚柱导轨的安装精度，其中，两组所述交叉滚柱导轨的内侧导轨均与所述y轴滑动区下底座固定连接，两组所述交叉滚柱导轨的外侧导轨与所述y轴滑动区上顶板固定连接，所述y轴滑动区上顶板与所述y轴滑动区下底座中间靠板不接触，所述y轴滑动区上顶板下表面的左右两端分别设置有一块所述y轴滑动区上顶板顶丝板，两块所述y轴滑动区上顶板顶丝板分别贴设在两组所述交叉滚柱导轨的外侧，所述y轴滑动区上顶板顶丝板受力变形时，不会导致所述y轴滑动区上顶板变形，所述x轴滑动扫描区底板和所述龙门推块分别设置在所述y轴滑动区上顶板上表面的前部和后部，所述x轴滑动扫描区底板和所述龙门推块之间形成用于容纳所述龙门横梁板的嵌槽，所述龙门横梁板安装在所述嵌槽内时，所述龙门横梁板的前后两侧分别通过对应的橡胶软垫与所述x轴滑动扫描区底板和所述龙门推块连接，且所述龙门横梁板的下表面与所述所述y轴滑动区上顶板上表面不接触，以达到减小x轴电机、y轴电机的振动传导至所述x轴滑动扫描区底板的目的。
12.进一步的，所述y轴移动模组还包括一个y轴光栅组件，所述y轴光栅组件由y轴光栅尺、用于读取所述y轴光栅尺的y轴光栅尺编码器、y轴光栅尺编码器支架、y轴光栅尺编码器支架底座和零位磁铁组成，所述y轴光栅尺和所述零位磁铁均贴设在所述y轴滑动区上顶板的右侧面，且所述零位磁铁位于所述y轴光栅尺的前部下方，所述y轴光栅尺编码器支架底座设置在所述y轴滑动区下底座上表面的右侧，所述y轴光栅尺编码器支架设置在所述y轴光栅尺编码器支架底座上，所述y轴光栅尺编码器设置在所述y轴光栅尺编码器支架上，且所述y轴光栅尺编码器位于所述y轴光栅尺的右侧。
13.进一步的，所述y轴移动模组还包括一个y轴光耦限位组件，所述y轴光耦限位组件由两个y轴光耦限位开关、分别用于触发两个所述y轴光耦限位开关的两片y轴光耦挡片和y轴光耦限位开关安装板组成，所述y轴光耦限位开关安装板设置在所述y轴滑动区下底座上表面的左侧，两个所述y轴光耦限位开关分别设置在所述y轴光耦限位开关安装板的前后两端，两片所述y轴光耦挡片分别设置在所述y轴滑动区上顶板的左侧面。
14.进一步的，所述x轴动力组件包括x轴动力组件底板、x轴电机、x轴圆柱齿轮、x轴电机抱块、x轴电机支架、x轴电机底座、x轴一级导轨、x轴一级导轨滑块、x轴齿条、x轴齿条固定板和x轴软垫固定块；所述x轴动力组件底板与所述龙门横梁板的上表面固定连接，所述x轴一级导轨设置在所述x轴动力组件底板上，所述x轴一级导轨滑块可滑动地设置在所述x轴一级导轨上，所述x轴齿条固定板固定在所述x轴一级导轨滑块上，所述x轴齿条设置在所述x轴齿条固定板上，所述x轴电机底座同样设置在所述x轴动力组件底板上，所述x轴电机依次通过所述x轴电机抱块和所述x轴电机支架设置在所述x轴电机底座上，所述x轴圆柱齿轮设置在所述x轴电机的输出轴上，所述x轴圆柱齿轮与所述x轴齿条啮合，两个所述x轴软垫固定块设置在所述x轴齿条固定板上，用于与所述x轴移动模组柔性连接。
15.进一步的，所述x轴移动模组包括x轴二级导轨、x轴二级导轨滑块、玻片架载台一体件、玻片架压片、第一对称推块、第二对称推块、校准块和配重块，所述x轴二级导轨设置在所述x轴滑动扫描区底板上，且所述x轴二级导轨与所述x轴一级导轨平行，所述x轴二级导轨滑块可滑动地设置在所述x轴二级导轨上，所述玻片架载台一体件设置在所述x轴二级导轨滑块上，所述校准块设置在所述玻片架载台一体件下表面的后端，所述第一对称推块通过若干条直线导轨固定在所述玻片架载台一体件上，所述配重块设置在所述第一对称推块上，所述玻片架压片设置在所述第一对称推块的前部，所述第二对称推块设置在所述第一对称推块的后表面，所述第二对称推块通过软线或软绳同时与两个所述x轴软垫固定块柔性连接。
16.进一步的，所述x轴移动模组还包括一个x轴光栅组件，所述x轴光栅组件由x轴光栅尺、用于读取所述x轴光栅尺的x轴光栅尺编码器、x轴光栅尺固定板、x轴光栅尺编码器支架组成，所述x轴光栅尺通过所述x轴光栅尺固定板设置在所述玻片架载台一体件下表面的前端，所述x轴光栅尺编码器通过所述x轴光栅尺编码器支架设置在所述x轴滑动扫描区底板上表面的前端，所述x轴光栅尺编码器位于所述x轴光栅尺的前侧。
17.进一步的，所述x轴移动模组还包括一个x轴光耦限位组件，所述x轴光耦限位组件由两个x轴光耦限位开关、分别用于触发两个所述x轴光耦限位开关的两片x轴光耦挡片和x轴光耦限位开关安装板组成，所述x轴光耦限位开关安装板设置在所述x轴滑动扫描区底板上表面的后端，两个所述x轴光耦限位开关分别设置在所述x轴光耦限位开关安装板的左右两端，两片所述x轴光耦挡片分别设置在所述玻片架载台一体件的后侧面上。
18.本发明的有益效果为：
19.1、本发明将由y轴动力组件直接驱动y轴移动模组的传统方式，优化为由y轴动力组件先带动一个龙门结构，然后再通过龙门结构带动y轴移动模组的方式，并且y轴动力组件与龙门结构之间、龙门结构与y轴移动模组之间均采用柔性连接传动，因此可以减小y轴电机单侧推动y轴移动模组时所导致的扫描平台振动。
20.2、本发明将x轴动力组件由原先放置在y轴移动模组优化为设置在龙门结构的横
梁板上，并且x轴动力组件与x移动模组之间采用柔性连接传动，从而减少x轴电机工作时的振动传导至锁在y轴移动模组上的扫描平台。
21.3、本发明将y轴移动模组的上下面板做分体设计，以增加交叉滚柱导轨安装面精度(包安装面平面度，平行度，左右两侧导轨安装平行度)，从而到达减少导轨振动的目的；同时，导轨顶丝板与y轴移动模组的上面板做分体设计，消除顶丝板变形导致y轴移动模组上面板变形风险。
22.通过上述技术效果可知，本发明能够最大程度地消除x轴电机、y轴电机及齿轮齿条产生的振动对扫描平台的影响，从而避免位于扫描前端的扫描平台在移动时振动，进而提高扫描图像的清晰度以及检测的准确性。
23.上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
24.此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本技术的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
25.图1为本发明的正面结构立体图；
26.图2为本发明的背面结构立体图；
27.图3为本发明的移动龙门组件的结构立体图；
28.图4为本发明的y轴动力组件的结构立体图；
29.图5为本发明的y轴移动模组的正面结构立体图；
30.图6为本发明的y轴移动模组的背面结构立体图；
31.图7为本发明的移动龙门组件与y轴移动模组的装配示意图；
32.图8为本发明的x轴动力组件和x轴移动模组的正面结构立体图；
33.图9为本发明的x轴动力组件和x轴移动模组的顶面结构立体图；
34.图10为本发明的x轴动力组件和x轴移动模组的左侧结构立体图；
35.图11为本发明的x轴动力组件和x轴移动模组的右侧结构立体图。
具体实施方式
36.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。此处所作说明用来提供对本发明的进一步理解，构成本技术的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
37.参见图1-2所示，一种采用龙门结构的无振动xy运动平台，包括大底板1、移动龙门组件2、y轴动力组件3、y轴移动模组4、x轴动力组件5和x轴移动模组6；所述y轴移动模组4设置在所述大底板1的上表面中部，所述移动龙门组件2可移动地架设在所述y轴移动模组4的上方，所述移动龙门组件2的移动方向与所述y轴移动模组4的移动方向相同，且所述移动龙门组件2与所述y轴移动模组4柔性连接；所述y轴动力组件3位于所述移动龙门组件2的一侧，所述y轴动力组件3与所述大底板1固定连接，所述y轴动力组件3与所述移动龙门组件2的侧表面固定连接；所述x轴动力组件5设置在所述移动龙门组件2上，所述x轴移动模组6设
置在所述y轴移动模组4上，所述x轴动力组件5与所述x轴移动模组6柔性连接。
38.进一步的，所述大底板1设置在前后两个底板支架7上，且前后两个所述底板支架7之间连接有加强筋8。
39.进一步的，参见图3所示，所述移动龙门组件2包括龙门横梁板201、龙门推块左立柱202、龙门推块右立柱203、龙门y轴右导轨204、龙门y轴右导轨底板205、龙门y轴右导轨滑块206和龙门y轴右导轨滑块固定板207；所述龙门推块右立柱203的上端与所述龙门横梁板201右端的下表面固定连接，所述龙门推块右立柱203的下端通过所述龙门y轴右导轨滑块固定板207设置有所述龙门y轴右导轨滑块206，所述龙门y轴右导轨204通过所述龙门y轴右导轨底板205固定在所述大底板1上表面的右侧，所述龙门y轴右导轨滑块206与所述龙门y轴右导轨204滑动连接，所述龙门推块左立柱202的上端与所述龙门横梁板201左端的下表面固定连接，所述龙门推块左立柱202的下端用于与所述y轴动力组件3固定连接，所述龙门横梁板201的上表面用于安装所述x轴移动模组6，所述龙门横梁板201的前、后侧面用于与所述y轴移动模组4柔性连接。
40.进一步的，参见图4所示，所述y轴动力组件3包括y轴动力组件底板301、y轴电机302、y轴圆柱齿轮303、y轴电机抱块304、y轴电机支架305、y轴电机底座306、龙门y轴左导轨307、龙门y轴左导轨滑块、y轴齿条308、y轴齿条固定板309和y轴软垫推块310；所述y轴动力组件底板301与所述大底板1的左侧固定连接，所述龙门y轴左导轨307设置在所述y轴动力组件底板301上，且所述龙门y轴左导轨307与所述所述龙门y轴右导轨204平行，所述龙门y轴左导轨滑块可滑动地设置在所述龙门y轴左导轨307上，所述y轴齿条固定板309固定在所述龙门y轴左导轨滑块上，所述y轴齿条固定板309通过所述y轴软垫推块310与所述龙门推块左立柱202的下端连接，所述y轴齿条308设置在所述y轴齿条固定板309上，所述y轴电机底座306同样设置在所述y轴动力组件底板301上，所述y轴电机底座306依次通过所述y轴电机支架305和所述y轴电机抱块304设置有所述y轴电机302，所述y轴圆柱齿轮303设置在所述y轴电机302的输出轴上，所述y轴圆柱齿轮303与所述y轴齿条308啮合。
41.进一步的，所述y轴动力组件底板301为下沉式底板，所述y轴动力组件底板301上表面的边缘设置有一圈挡边，所述y轴动力组件底板301的上表面在所述挡边的包围下形成下沉槽，所述龙门y轴左导轨307和所述y轴电机底座306均设置在所述下沉槽内，同时，所述大底板1上开设有用于避让所述y轴动力组件3的避让孔，所述y轴动力组件底板301位于所述避让孔的下方，且所述y轴动力组件底板301的挡边与所述大底板1的下表面固定连接。
42.进一步的，参见图5-6所示，所述y轴移动模组4包括扫描区固定底板401、y轴滑动区下底座402、y轴滑动区下底座中间靠板403、y轴滑动区上顶板404、y轴滑动区上顶板顶丝板405、交叉滚柱导轨406、x轴滑动扫描区底板407和龙门推块408，所述扫描区固定底板401与所述大底板1固定连接，所述y轴滑动区下底座402设置在所述扫描区固定底板401的中部，所述y轴滑动区下底座中间靠板403设置在所述y轴滑动区下底座402的中部，所述y轴滑动区上顶板404通过两组所述交叉滚柱导轨406与所述y轴滑动区下底座402滑动连接，两组所述交叉滚柱导轨406分别贴设在所述y轴滑动区下底座中间靠板403的左右两侧，所述y轴滑动区下底座中间靠板403两侧精磨，以保证两组所述交叉滚柱导轨406的安装精度，其中，两组所述交叉滚柱导轨406的内侧导轨均与所述y轴滑动区下底座402固定连接，两组所述交叉滚柱导轨406的外侧导轨与所述y轴滑动区上顶板404固定连接，所述y轴滑动区上顶板
404与所述y轴滑动区下底座中间靠板403不接触，所述y轴滑动区上顶板404下表面的左右两端分别设置有一块所述y轴滑动区上顶板顶丝板405，两块所述y轴滑动区上顶板顶丝板405分别贴设在两组所述交叉滚柱导轨406的外侧，所述y轴滑动区上顶板顶丝板405受力变形时，不会导致所述y轴滑动区上顶板404变形，参见图7所示，所述x轴滑动扫描区底板407和所述龙门推块408分别设置在所述y轴滑动区上顶板404上表面的前部和后部，所述x轴滑动扫描区底板407和所述龙门推块408之间形成用于容纳所述龙门横梁板201的嵌槽，所述龙门横梁板201安装在所述嵌槽内时，所述龙门横梁板201的前后两侧分别通过对应的橡胶软垫与所述x轴滑动扫描区底板407和所述龙门推块408连接，且所述龙门横梁板201的下表面与所述所述y轴滑动区上顶板404上表面不接触，以达到减小x轴电机502、y轴电机302的振动传导至所述x轴滑动扫描区底板407的目的。
43.进一步的，所述y轴移动模组4还包括一个y轴光栅组件，所述y轴光栅组件由y轴光栅尺409、用于读取所述y轴光栅尺409的y轴光栅尺编码器410、y轴光栅尺编码器支架411、y轴光栅尺编码器支架底座412和零位磁铁413组成，所述y轴光栅尺409和所述零位磁铁413均贴设在所述y轴滑动区上顶板404的右侧面，且所述零位磁铁413位于所述y轴光栅尺409的前部下方，所述y轴光栅尺编码器支架底座412设置在所述y轴滑动区下底座402上表面的右侧，所述y轴光栅尺编码器支架411设置在所述y轴光栅尺编码器支架底座412上，所述y轴光栅尺编码器410设置在所述y轴光栅尺编码器支架411上，且所述y轴光栅尺编码器410位于所述y轴光栅尺409的右侧。
44.进一步的，所述y轴移动模组4还包括一个y轴光耦限位组件，所述y轴光耦限位组件由两个y轴光耦限位开关414、分别用于触发两个所述y轴光耦限位开关414的两片y轴光耦挡片415和y轴光耦限位开关安装板416组成，所述y轴光耦限位开关安装板416设置在所述y轴滑动区下底座402上表面的左侧，两个所述y轴光耦限位开关414分别设置在所述y轴光耦限位开关安装板416的前后两端，两片所述y轴光耦挡片415分别设置在所述y轴滑动区上顶板404的左侧面。
45.进一步的，参见图8-11所示，所述x轴动力组件5包括x轴动力组件底板501、x轴电机502、x轴圆柱齿轮503、x轴电机抱块504、x轴电机支架505、x轴电机底座506、x轴一级导轨507、x轴一级导轨滑块、x轴齿条508、x轴齿条固定板509和x轴软垫固定块510；所述x轴动力组件底板501与所述龙门横梁板201的上表面固定连接，所述x轴一级导轨507设置在所述x轴动力组件底板501上，所述x轴一级导轨滑块可滑动地设置在所述x轴一级导轨507上，所述x轴齿条固定板509固定在所述x轴一级导轨滑块上，所述x轴齿条508设置在所述x轴齿条固定板509上，所述x轴电机底座506同样设置在所述x轴动力组件底板501上，所述x轴电机502依次通过所述x轴电机抱块504和所述x轴电机支架505设置在所述x轴电机底座506上，所述x轴圆柱齿轮503设置在所述x轴电机502的输出轴上，所述x轴圆柱齿轮503与所述x轴齿条508啮合，两个所述x轴软垫固定块510设置在所述x轴齿条固定板509上，用于与所述x轴移动模组6柔性连接。
46.进一步的，参见图8-11所示，所述x轴移动模组6包括x轴二级导轨601、x轴二级导轨滑块602、玻片架载台一体件603、玻片架压片604、第一对称推块605、第二对称推块606、校准块607和配重块615，所述x轴二级导轨601设置在所述x轴滑动扫描区底板407上，且所述x轴二级导轨601与所述x轴一级导轨507平行，所述x轴二级导轨滑块602可滑动地设置在
所述x轴二级导轨601上，所述玻片架载台一体件603设置在所述x轴二级导轨滑块602上，所述校准块607设置在所述玻片架载台一体件603下表面的后端，所述第一对称推块605通过若干条直线导轨固定在所述玻片架载台一体件603上，所述配重块615设置在所述第一对称推块605上，所述玻片架压片604设置在所述第一对称推块605的前部，所述第二对称推块606设置在所述第一对称推块605的后表面，所述第二对称推块606通过软线或软绳同时与两个所述x轴软垫固定块510柔性连接。
47.进一步的，所述x轴移动模组6还包括一个x轴光栅组件，所述x轴光栅组件由x轴光栅尺608、用于读取所述x轴光栅尺608的x轴光栅尺编码器609、x轴光栅尺固定板610、x轴光栅尺编码器支架611组成，所述x轴光栅尺608通过所述x轴光栅尺固定板610设置在所述玻片架载台一体件603下表面的前端，所述x轴光栅尺编码器609通过所述x轴光栅尺编码器支架611设置在所述x轴滑动扫描区底板407上表面的前端，所述x轴光栅尺编码器609位于所述x轴光栅尺608的前侧。
48.进一步的，所述x轴移动模组6还包括一个x轴光耦限位组件，所述x轴光耦限位组件由两个x轴光耦限位开关612、分别用于触发两个所述x轴光耦限位开关612的两片x轴光耦挡片613和x轴光耦限位开关安装板614组成，所述x轴光耦限位开关安装板614设置在所述x轴滑动扫描区底板407上表面的后端，两个所述x轴光耦限位开关612分别设置在所述x轴光耦限位开关安装板614的左右两端，两片所述x轴光耦挡片613分别设置在所述玻片架载台一体件603的后侧面上。
49.本发明的工作原理如下：
50.y轴电机302工作，通过y轴圆柱齿轮303带动与之啮合的y轴齿条308在y方向移动，进而带动y轴齿条固定板309在龙门y轴左导轨307上移动，y轴齿条固定板309通过y轴软垫推块310带动移动龙门组件2在龙门y轴左导轨307和龙门y轴右导轨204上同时移动。移动龙门组件2移动时，其龙门横梁板201通过y轴移动模组4的x轴滑动扫描区底板407和龙门推块408之间的橡胶软垫，带动y轴滑动区上顶板404在y轴滑动区下底座402上沿交叉滚柱导轨406实现y方向移动。x轴电机工作，通过x轴圆柱齿轮503带动与之啮合的x轴齿条508在x方向移动，进而带动x轴齿条固定板509在x轴一级导轨507上移动，x轴齿条固定板509通过x轴软垫固定块510、第二对称推块606、第一对称推块605带动玻片架载台一体件603在x轴二级导轨601上实现x方向移动。
51.本发明将由y轴动力组件直接驱动y轴移动模组的传统方式，优化为由y轴动力组件先带动一个龙门结构，然后再通过龙门结构带动y轴移动模组的方式，并且y轴动力组件与龙门结构之间、龙门结构与y轴移动模组之间均采用柔性连接传动，因此可以减小y轴电机单侧推动y轴移动模组所导致的振动。
52.本发明将x轴动力组件由原先放置在y轴移动模组优化为设置在龙门结构的横梁板上，并且x轴动力组件与x移动模组之间采用柔性连接传动，从而减少x轴电机工作时的振动传导至锁在y轴移动模组上的扫描平台。
53.本发明将y轴移动模组的上下面板做分体设计，以增加交叉滚柱导轨安装面精度(包安装面平面度，平行度，左右两侧导轨安装平行度)，从而到达减少导轨振动的目的；同时，导轨顶丝板与y轴移动模组的上面板做分体设计，消除顶丝板变形导致y轴移动模组上面板变形风险。
54.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。