技术编号：2935482
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明应用于快速扫描电子显微镜设备。尤其涉及用于低能观察高阻样品 和集成电路样品的扫描电子显微镜技术。背景技术扫描电子显微镜的典型结构包括 一个电子源； 一个镜筒，包括电子束调节装置和一个聚焦偏转系统；以及探测器系统。近些年来，扫描电子显微镜广 泛的应用于半导体的器件制造；而随着半导体制造技术工艺要求的不断提高， 必然要对扫描电子显微镜的性能提出更高的要求。在扫描电子显微镜中，电子源的性能对于扫描电子显微镜的分辨率有最直 接的影响。目前，具有较高分...
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