技术编号：29401897
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件。背景技术.在半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜中，使用兼具优异的耐热性、电特性和机械特性等的聚酰亚胺等。近年来，使用了对这些树脂自身赋予了感光特性的感光性树脂组合物，如果使用该感光性树脂组合物，则图案固化膜的制造工序能够简化，能够缩短繁杂的制造工序(例如，参照专利文献)。.现有技术文献.专利文献.专利文献：日本特开-号公报.专利文献：日本特开-...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。