技术编号：2941656
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种离子束孔径调整装置。背景技术目前，在半导体生产工艺中，经常使用离子束进行离子注入工艺。一般使用离子束孔径调整装置来对离子束进行调整。请参阅图1，图I所示是现有的离子束孔径调整装置的结构示意图，由图I可见，现有的离子束孔径调整装置包括两块调整块110，所述调整块110之间通过调节部件120活动连接。通过调整调节部件120，可以调整所述两块调整块110之间的缝隙大小即两者之间的距离，从而可以调整离子束的穿越孔径，进而调整离子束的大小。使用中发...
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