专利名称：离子束孔径调整装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种离子束孔径调整装置。
背景技术：
目前，在半导体生产工艺中，经常使用离子束进行离子注入工艺。一般使用离子束孔径调整装置来对离子束进行调整。请参阅图1，图I所示是现有的离子束孔径调整装置的结构示意图，由图I可见，现有的离子束孔径调整装置包括两块调整块110，所述调整块110之间通过调节部件120活动连接。通过调整调节部件120，可以调整所述两块调整块110之间的缝隙大小即两者之间的距离，从而可以调整离子束的穿越孔径，进而调整离子束的大小。使用中发现，经过一段时间后，所述两块调整块上离子束入射侧会被离子束侵蚀，出现缺口现象，从而不能精确调整离子束的大小，不得不进行更换。如此，一方面，由于将两块调整块需要完全拆卸下来进行更换，造成很大的浪费，另一方面，由于拆卸连接两块调整块的调节部件，因此，费时费力。因此，如何提供有效节约成本的离子束孔径调整装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种离子束孔径调整装置，可以只更换可拆卸块，无需更换整个调整块，可以有效降低维护成本。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块与所述调整块之间通过螺钉连接。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述凹口包括一矩形孔和一矩形凹槽，所述矩形孔和所述矩形凹槽相连接，所述矩形凹槽设于所述调整块的背面，所述可拆卸块包括一矩形块和一矩形凸块，所述矩形块和所述矩形凸块相连接，所述矩形凸块设置于所述可拆卸块的背面，所述矩形块与所述矩形孔相对应，所述矩形凸块和所述矩形凹槽相对应，所述矩形凹槽的槽底和所述矩形凸块上对应开设供所述螺钉穿越的螺纹孔。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块与所述调整块之间通过两根螺钉连接。 优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述调整部件是螺栓组件。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述两块调整块是石墨块。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，每块所述调整块包括两层石墨层，所述两层石墨层贴合连接。优选地，在上述的离子束孔径调整装置中，所述凹口设置于所述两块调整块的相对侧的中部。本实用新型提供的离子束孔径调整装置，通过设置两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大 小和形状相对应，也就是在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。
本实用新型的离子束孔径调整装置由以下的实施例及附图给出。图I是现有的离子束孔径调整装置的正面结构示意图；图2是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置的正面结构示意图；图3是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的正面结构示意图；图4是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的侧面结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的离子束孔径调整装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2，这种离子束孔径调整装置，包括两块调整块210，所述调整块210之间设有用于调整两块调整块210之间缝隙大小的调节部件220，还包括两可拆卸块230，所述两块调整块210的相对侧分别设有一凹口 240，所述凹口 240分别与所述可拆卸块230的大小和形状相对应，较佳地，所述凹口 240设置于所述两块调整块210的相对侧的中部。通过在调整块210容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块230，在维护时，只需更换新的可拆卸块230，不需要更换整个调整块210，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。较佳地，在本实施例的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块230与所述调整块210之间通过螺钉250连接。[0027]较佳地，请参阅图3和图4，其中，图3是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的正面结构示意图(未装配图2中的螺钉250)，图4是本实用新型一实施例的离子束孔径调整装置中的调整块的侧面结构示意图，即图4是图3的右视图。在本实施例的离子束孔径调整装置中，所述凹口 240包括一矩形孔241和一矩形凹槽242，所述矩形孔241和一矩形凹槽242相连接，所述矩形凹槽242设于所述调整块210的背面，所述可拆卸块230包括一矩形块231和一矩形凸块232，所述矩形块231和所述矩形凸块232相连接，所述矩形凸块232设于所述可拆卸块230的背面，所述矩形块231与所述矩形孔241相对应，所述矩形凸块232和所述矩形凹槽242相对应，所述矩形凹槽242的槽底和所述矩形凸块232上对应开设供所述螺钉250穿越的螺纹孔(图中未标识)。所述凹口 240和可拆卸块230采用上述结构，可以使得用于连接可拆卸块230和调整块210的螺钉250设置于所述调整块210的背面(即背对离子束的那一面)，从而，可以避免螺钉250及螺纹孔被离子束污染和侵蚀。较佳地，在本实施例的离子束孔径调整装置中，所述可拆卸块230与所述调整块210之间通过两根螺钉250连接。如此可以使得可拆卸块230和调整块210之间连接更加
牢固、稳定。较佳地，在本实施例的离子束孔径调整装置中，所述调整部件220是螺栓组件。通过调节螺栓组件，可以调整两块调整块210之间的缝隙大小，从而可以调整离子束的可穿越孔径大小。较佳地，在本实施例的离子束孔径调整装置中，所述两块调整块210是石墨块。每块所述调整块210包括两层石墨层211、212，所述两层石墨层211、212贴合连接。采用石墨块制成的调整块210具有可加工性好、重量轻、热稳定性好等优点。综上所述，本实用新型提供的离子束孔径调整装置，通过设置两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应，也就是在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，其特征在于，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。
2.根据权利要求I所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述可拆卸块与所述调整块之间通过螺钉连接。
3.根据权利要求2所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述凹口包括一矩形孔和一矩形凹槽，所述矩形孔和所述矩形凹槽相连接，所述矩形凹槽设于所述调整块的背面，所述可拆卸块包括一矩形块和一矩形凸块，所述矩形块和所述矩形凸块相连接，所述矩形凸块设置于所述可拆卸块的背面，所述矩形块与所述矩形孔相对应，所述矩形凸块和所述矩形凹槽相对应，所述矩形凹槽的槽底和所述矩形凸块上对应开设供所述螺钉穿越的螺纹孔。
4.根据权利要求3所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述可拆卸块与所述调整块之间通过两根螺钉连接。
5.根据权利要求I所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述调整部件是螺栓组件。
6.根据权利要求I所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述两块调整块是石墨块。
7.根据权利要求6所述的离子束孔径调整装置，其特征在于，每块所述调整块包括两层石墨层，所述两层石墨层贴合连接。
8.根据权利要求I 7中任意一项述的离子束孔径调整装置，其特征在于，所述凹口设置于所述两块调整块的相对侧的中部。
专利摘要本实用新型公开了一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，所述离子束孔径调整装置还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。
文档编号H01J37/32GK202363410SQ20112051386
公开日2012年8月1日 申请日期2011年12月9日 优先权日2011年12月9日
发明者何春雷, 周正明, 王俊 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司