技术编号：2944823
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对微波器件、阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源等电真空器件进行残余气体分析的四极质谱管，它除了具有传统四极质谱管的功能外，还解决了体积小、真空度高的微波管、场发射显示器等电真空器件在排气过程和产品出厂前进行管内残余气体无损分析的难题。背景技术 电真空器件内部的残余气体是影响电真空器件性能的主要因素之一，为了分析电真空器件中残余气体对器件失效的影响，往往采用质谱分析的办法。除小型电真空器件可采用直接放入质谱分析真空系统中击破的方法进行取样分析外...
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