技术编号：2953956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及被使用于半导体制造或薄膜晶体管制造的退火装置的灯单元。背景技术在半导体制造或薄膜晶体管制造中，使用具有灯单元的退火装置，该 灯单元具备闪光灯。例如在硅晶圆表层形成(离子注入的不纯物活性化)浅扩散层(pn接合)的工序中，使用上述灯退火装置。在上述退火工序中，尤其是要避免离子注入了的不纯物的外形压溃或 所形成的图案挥发等的问题，且必须得到不纯物的良好活性化状态。另外，在液晶显示面板用的薄膜晶体管制造上，也必须确实且均匀地 使被形成于基板上的半导体膜活...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。