灯单元的制作方法

专利名称：灯单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及被使用于半导体制造或薄膜晶体管制造的退火装置的灯单元。
背景技术：
在半导体制造或薄膜晶体管制造中，使用具有灯单元的退火装置，该 灯单元具备闪光灯。例如在硅晶圆表层形成(离子注入的不纯物活性化)
浅扩散层(pn接合)的工序中，使用上述灯退火装置。
在上述退火工序中，尤其是要避免离子注入了的不纯物的外形压溃或 所形成的图案挥发等的问题，且必须得到不纯物的良好活性化状态。
另外，在液晶显示面板用的薄膜晶体管制造上，也必须确实且均匀地 使被形成于基板上的半导体膜活性化。尤其是在利用玻璃基板的情形，在 实现该退火处理的同时，必须防止对基板的过度加热而抑制基板的伸縮或 "翘曲"的发生。
此种退火装置所具备的闪光灯及触发构件所构成的灯单元，例如被记 载于专利文献l中。
图9是表示专利文献1所记载的灯单元1的说明图。图9 (a)是表示 沿着闪光灯2的长度方向的剖面图，图9 (b)是表示沿着相对于闪光灯2 的长度方向垂直的方向的剖面图(图9 (a)的B-B剖面图)。
灯单元1是由闪光灯2与触发构件3所构成。闪光灯2是在例如石英玻璃所构成的棒状发光管25的被密闭的内部26，封入例如氙(Xe)气体所构成的发光气体。并且，在棒状的发光管25的内部26，相对配置有以在其中心轴延伸的方式被连接于棒状的引线21，22上的一对电极23， 24。被连接于各电极23， 24的引线21， 22从发光管25的长度方向的两端突出。
在闪光灯2的发光管25的外面，沿着发光管25的长度方向配设有如由钨所构成的棒状导体34作为触发构件3。在该棒状导体34的两端，将导体34固定于闪光灯2的带子5巻绕设于发光管的外周面。
图10是表示点亮闪光灯2的灯点灯装置的电路构成例。
闪光灯2的电极23， 24被连接于灯点灯电路50，而构成触发构件3的导体34被连接于触发点灯电路53。
灯2在开始点灯之前，在被连接于电极23， 24的电容器C上，从充电器51经由点灯电流控制用阻抗52施加电压，储存能量。灯2点灯时，通过从触发点灯电路53向导体34施加电压，在闪光灯2的电极23， 24间产生绝缘击穿，使得被储存在电容器C的能量立即被输入闪光灯2。
如此地，通过点亮闪光灯2，成为在短时间内就可得到具有极高放射亮
度的放射光的闪光点灯状态。
专利文献l:日本特开2001-185088号公报

发明内容
作为近期人们的期望，例如在硅晶圆表层形成(离子注入的不纯物活性化)浅扩散层(pn接合)的工序中，有将被形成在硅晶圆表层的扩散层的部分更浅地形成的期望。为此，考虑通过使闪光灯2的闪光脉冲宽比有技术还短，从而对例如硅晶圆表层的被加热的层仅在比现有技术更浅的位置进行加热。
由于即使縮短脉冲宽，形成扩散层所必需的放射辉度也几乎相同，因而成为使向电容器充电的充电电压上升。
若使用现有的灯单元1而使电容器的充电电压由现有的值上升，则在
导体34施加触发电压之前，会在电极23， 24与触发构件3即导体34之间产生绝缘击穿，而电流在一方的电极与触发构件3之间流动，有此电流沿着发光管25外面流动的情形。如此地，通过电流在触发构件3与另一方的电极之间流动，会使得灯2开始点灯，而在电容器上会产生无法施加至所期望的充电电压的问题。
本发明是为了解决上述的问题而完成的，本发明的目的是在于提供一种灯单元，该灯单元可抑制灯开始点灯前在电极与触发构件之间的绝缘击穿，而且可确实地进行闪光点灯。
在本发明中，如下地解决上述课题。(1) 一种灯单元，包括由一对电极、将该电极设于内部的发光管所
构成的闪光灯，以及设于上述发光管的外部的触发用导体，其特征为在
上述发光管的外部，沿着连结上述一对电极的轴，至少在该电极极间的整个全长，设置具有介质性的触发管，将该触发管内作成比大气压还要减压状态，或是在内部封入惰性气体，在该触发管内，设置上述电极间的空间部分区域上的长度比上述电极间距离短的导体，而将该导体的至少一部分配置于上述电极之上。亦即，横跨将设有电极的区域在发光管的径向延长的区域上及将电极间的空间部分在发光管的径向延长的区域上配置导体，而将该导体的上述电极间的空间部分的区域上的长度，作成在上述电极间距离以下。
(2)在上述(1)中，将上述导体配置于上述电极之上除了电极间的空间部分之上以外的区域。亦即，仅在将设有电极的区域在发光管的径向延长的区域上配置上述导体，而在将电极间的空间部分在发光管的径向延长的区域上不配置上述导体。
在本发明中，可获得以下的效果。(l)在发光管的外部，沿着连结上述一对电极的轴，至少该电极极间的整个全长，设置具有介质性的触发管，将该触发管内作成比大气压还要减压状态，或是在内部封入惰性气体，在该触发管内，设置上述电极间的空间部分的区域上的长度比上述电极间距离短的导体，而将该导体的至少一部分配置于上述电极之上，因而可增大在电极与导体之间的绝缘击穿所需的能量，而可抑制灯开始点灯之前的电极与触发构件之间的绝缘击穿。另外，根据该导体的长度而可变更上述绝缘击穿所需的能量大小，由此，可将所期望的电位施加于被连接在电极的电容器。
另外，在电极间的整个全长，设置具有介质性的触发管，因而可使触发管与电极的距离靠近，另外，在电极与导体之间，可介设触发管的厚和触发管内部的减压状态或惰性气体。
所以，在灯开始点灯时，若有电压被施加于导体，则在内部具有导体的触发管具有介质性，因而电位施加于触发管，而有电流从高电位侧的电极流入与其接近的触发管，又可向靠近触发管的低电位侧的电极流入电流。
亦即，通过使一对电极与触发管靠近，可容易地完成灯开始点灯时的绝缘击穿，可确实地进行利用闪光灯的闪光点灯，使得被储存在电容器的所期望的能量立即被输入闪光灯，而以所期望的脉冲宽可得到具有极高放射强度的放射光。
(2)将上述导体配置于上述电极之上除了电极间的空间部分之上以外的区域。由此，可进一步抑制灯开始点灯之前的电极与触发构件之间的绝缘击穿，另外，利用在电极间所发生的放电所产生的光，不会被上述导体所妨碍，而可有效地利用来自灯的光。


图1 (a)至图1 (c)是表示本发明的第1实施例的灯单元的说明图。
图2是表示本发明的第2实施例的灯单元的说明图。
图3是表示比较例1的灯单元的说明图。
图4是表示比较例2的灯单元的说明图。
图5是表示实验1的实验条件的说明图。
图6是表示实验1的实验结果的说明图。
图7是表示实验2的实验结果的说明图。
图8是表示实验3的实验结果的说明图。
图9是表示现有的灯单元的说明图。
图IO是表示现有的灯单元的灯点灯装置的构成例的图。
符号说明
1:灯单元；2:闪光灯；21: —方的引线；22:另一方的引线；
23:阳极；24:阴极；25:发光管；26:发光管的内部；3:触发构件
31:触发管；32:触发管的内部；33:密封部；34:导体；35:箔
736:外部引线；41:第1支撑体；42:第2支撑体；Ll: 一对电极(阳极及阴极)的相对的电极间距离；L2:发光管的长度方向的全长；L3:发光管的外径；L4:发光管的内径；L5:触发管长度方向的全长；L6:触发管的外径；L7:触发管的内径；L8:触发管内部的导体的长度方向的全长；
L9:配设于触发管内部的导体的前端与阳极的前端的发光管在管轴方向延伸的距离
L10:将相对的电极间的空间部分沿发光管径向延伸的区域上的发光管外面的部分的触发管的长度
具体实施例方式
用图1来说明本发明的第1实施例。
图1是表示第1实施例的灯单元1的说明图。图1 (a)是表示沿着灯单元1所具备的闪光灯2的长度方向的剖面图，图1 (b)是表示沿着垂直于灯单元1所具备的闪光灯2的长度方向的方向的剖面图(图1 (a)的A-A剖面图)。图1 (c)是表示构成图1 (a)的灯单元1的闪光灯2与触发构件3的支撑构造的说明图。在图1中，在与图9所示的部位相同的部位标注同一符号。
在本实施例中，如图1 (a)及图1 (b)所示，灯单元1是由闪光灯2与触发构件3所构成。
闪光灯2在例如石英玻璃所构成的棒状发光管25的被密闭的内部26，封入例如氙(Xe)气体所构成的稀有气体作为发光气体。另外，在棒光管25的内部26，以沿其中心轴延伸的方式，相对配置有被连接于棒状引线21， 22的一对电极(阳极23及阴极24)。被连接于各电极(阳极23及阴极24)的棒状引线21， 22，从发光管25的长度方向的两端突出。
该引线21， 22是例如由钨(W)所形成。另外，设于一方的引线21前端的阳极23例如由钨(W)所形成，而设于另一方的引线22前端的阴极24例如由含有钡 铝酸盐(Ba*Al203)的钩(W)所形成。
在直管状发光管25的外面，设有与沿着该外面并行的触发构件3。
该触发构件3是由具有例如石英玻璃那样的介质性的构件所构成的直管状触发管31，及以在该触发管31的中心轴延伸的方式设置的例如鸽(W)所构成的导体34所构成。在触发管31的一端(在图1 (a)中，触发管31的阴极24侧的端部)，形成有密封部33。触发管31的密封部33，是由作成熔融状态使之压溃的压紧密封法(匕。y于、乂一，法)来形成从触发管31的一端所延伸的例如石英玻璃的管体。在密封部33的内部，埋设有电连接导体34与外部引线36的例如钼(Mo)所构成的金属箔35。
另外，如图l (c)所示，第1支撑体41与第2支撑体42分别被抵接于发光管25的外面，及触发管31的外面，而灯单元1是通过第1支撑体41与第2支撑体42被推压并夹持。
另外，该触发管31的密封部33，也可以通过基于在作成熔融状态下对内部减压的所谓的收縮密封法(、乂二y y夕、乂一》法)来形成从触发管31的一端延伸的例如石英玻璃的管体。
另外，触发管31的密封部33，也可以不埋设金属箔35，而将加热的中间玻璃(介于导体34与触发管31中间的线膨胀系数的玻璃)直接巻绕在导体34的外周，焊接密封于石英玻璃上的递级密封法(,P —亍:y K、乂一乂W去)。
如此地，被密封的触发管31的内部32，例如作成被减压至0.01Torr以下的状态，或是封入例如10Torr以上的氮(N2)气体那样的惰性气体。
触发构件3的触发管31是横跨于设有一对电极即阳极23及阴极24的区域上(亦即将设有电极23， 24的部分在发光管的径向延长的区域)，及电极间(距离L1)的空间部分上(亦即将电极间的空间部分在发光管的径向延长的区域)，至少其全长全面与发光管25抵接而并行地配设于发光管25外面的部分。
另外，设于触发管31的内部32的导体34，在本实施例中，导体34的电极23， 24间的空间部分的区域上的长度为一对电极23， 24间距离L1的一半以下，配设于电极间(距离L1)的空间部分上(亦即将电极间的空间部分在发光管的径向延长的区域)及设有一方的电极(例如电极24)的区域上(亦即，将设有电极的部分在发光管的径向延长的区域上)。
另外，导体34的长度并不限定于上述长度，电极23， 24间的空间部分的区域上的长度作成比电极间距离L1短就可以，主要为根据绝缘击穿所
必需的能量大小等适当地选定。
图2是本发明第2实施例的灯单元1的说明图，表示沿着灯单元1所具备的闪光灯2的长度方向的剖面图。沿着垂直于闪光灯2的长度方向的方向的剖面图与图1 (b)同样。
在图2中，触发构件3的触发管31是与图l所示的同样，横跨在设有一对电极即阳极23及阴极24的部分上以及电极间(距离LO的空间部分上，至少其全长全面与发光管25抵接，并行地配设于发光管25外面的部 分。
另外，设于触发管31的内部32的导体34，在本实施例中，配设于设 有一方的电极(例如电极24)的区域上(亦即，将设有电极的部分在发光 管的径向延伸的区域)。亦即，设于触发管31的内部32的导体34配设在 不位于相对的电极23， 24之间(距离L1)的空间部分上。
其他构成与图1所示的第1实施例同样，在例如石英玻璃所构成的棒 状发光管25的被密闭的内部26，封入有例如氙(Xe)气体所构成的稀有 气体作为发光气体。另外，在棒状发光管25的内部26，以沿其中心轴延伸 的方式，相对配置有被连接于棒状引线21， 22的一对电极(阳极23及阴 极24)。被连接于各电极(阳极23及阴极24)的棒状引线21， 22从发光 管25的长度方向的两端突出。
以下列举第l，第2实施例的灯单元的数值例。
发光管25的长度方向的全长L2是580mm，电极23， 24间距离L1是 500mm。发光管25的外径L3是13mm，发光管25的内径L4是10.5mm， 封入发光管25的内部26的氙(Xe)气体为450Torr。
触发管31的长度方向的全长L5是540mm，触发管31的外径L6为 4mm，触发管31的内径L7为2mm。
配置于触发管31的内部32的导体34的前端与阳极23在管轴方向的 距离L9，在第1实施例为250mm，而在第2实施例为550mm。
上述的第1、第2实施例的灯单元1是在具备的退火装置中，如图1 (c) 所示，闪光灯2的发光管25与触发构件3的触发管31，通过被抵接于发光管25的外面的第1支撑体41及被抵接于触发管31的外面的第2支撑体42 被推压夹持，未图示的灯2电源电连接于闪光灯2的一对电极(阳极23及 阴极24)，在设于触发构件3的触发管31的内部32的导体34，电连接有 未图示的触发电源。
另外，灯2在点灯之前，所期望的电压由未图示的灯2的电源被施加 于设在电极与未图示的灯2电源之间的未图示的电容器上，从而储存能量。
灯2在点灯时，通过由未图示的触发电源于导体34上施加电压，使得 电压被施加于触发管31，经由触发管31在一对电极23， 24间产生绝缘击 穿，会把被储存在未图示的电容器的能量立即被输入闪光灯2。通过输入该 能量，使得被封入于发光管25的内部26的例如氙(Xe)气体所构成的发 光气体被激励。如此地通过使闪光灯2进行灯2点亮，在短时间内成为可 得到具有极高放射亮度的放射光的闪光点灯状态。
在第l，第2实施例中，将上述电极23， 24间的空间部分的区域上的 导体34的长度，作为上述电极间距离L1的一半以下，而由于将该导体34 的至少一部配置于上述电极之上，因而可延伸电极23， 24与导体34的绝 缘距离。
所以，在灯2点灯前，可增大电极23， 24与导体34之间的绝缘击穿 所需要的能量。亦即，可抑制在灯2点灯前在电极23， 24与触发构件3之 间的绝缘击穿，因而可抑制在电极23， 24与触发构件3之间电流流动。由 此可将所期望的电位施加于电极23， 24的未予图示的电容器。
尤其是，如后述的实验2的图7的实验结果所示，通过将设于触发管 31的内部32的导体34，作成电极23， 24间距离Ll的一半以下长度，从而在灯2点灯前，可增大电极23， 24与导体34之间的绝缘击穿所需要的能量。
尤其是，如第2实施例那样，通过将导体34仅配设于设有一方的电极 的区域上，可更增加灯2在点灯前电极23， 24与导体34之间的绝缘击穿 所需的能量。另外，上述导体34不会妨碍到利用在电极间所发生的放电所 产生的光。所以，可有效率地利用来自灯的光。
另外，第1，第2实施例的灯单元1，通过将导体34设于具有介质性 的触发管31的内部32，在电极23， 24与导体34之间，可介设触发管31 的厚度，及触发管31的内部32的减压状态或惰性气体。
第1，第2实施例的灯单元1，在灯2点灯时，当电压施加于导体34 时，则由于在内部32具有导体34的触发管31具有了介质性，因而有电位 立即施加于触发管31，可将被储存在被连接于闪光灯2的电极23， 24的电 容器内的所期望的能量立即输入闪光灯2，而可得到以所期望的脉冲宽具有 极高放射强度的放射光。
尤其是，如后述的实验1的图6的实验结果所示，通过在触发管31的 内部32封入惰性气体，在灯2点灯前，就可增大电极23， 24与导体34之 间的绝缘击穿所需要的能量。
另外，第l，第2实施例的灯单元2，是通过将触发管31的长度作成 与一对电极23， 24间距离L1至少等同，则可使触发管31与一对电极(阳 极23及阴极24)的距离接近。
所以，在灯2点灯时，通过电压被施加于导体34而有电位施加于触发 管31，则电流从高电位侧的电极23流向靠近该电极的触发管31，另外电流沿着触发管31在发光管25的内部26的长度方向流动，在此基础上可使 电流流入接近于触发管31的低电位侧的电极24。亦即，通过使一对电极 23， 24与触发管31靠近，则易于实现灯2点灯时的绝缘击穿，而确实地可 进行利用闪光灯2的闪光点灯。
为了表示上述本发明的灯单元1的效果，使用以下的本发明的灯单元1 与比较例l， 2来进行以下的实验1 3。
图3表示上述比较例1的构成。
图3与上述图1、图2同样，是沿着灯单元1所具备的闪光灯2的长度 方向的剖面图，在与图l、图2所示相同的部位标注相同的符号。
图3所示的灯单元，将构成触发构件3的导体34在发光管25的管轴 方向的长度作成比电极间距离L1长。
亦即，触发构件3的触发管31横跨在设有一对电极即阳极23及阴极 24的区域上及电极间(距离L1)的空间部分的区域上，即发光管25外面 的部分，至少其全长全面与发光管25抵接并行地配设。
另外，设于触发管31的内部32的导体34，与上述触发管31同样，横 跨于设有一对电极即阳极23及阴极24的区域上及电极间(距离L1)的空 间部分的区域上，至少其全长全面配设于发光管25外面的部分。
图4表示上述比较例2。
图4与上述图1、图2同样，是沿着灯单元1所具备的闪光灯2的长度 方向的剖面图，在与图l、图2所示的部位相同的部位标注同一符号。
图4所示的灯单元，是将构成触发构件3的触发管31在发光管25的 管轴方向的长度作成电极间距离L1的一半以下，而将导体34的长度作成与触发管31同样的长度。 (1)实验l
在实验1中，针对于未具有触发管的现有的灯单元(参照图9)与具有 触发管的灯单元来比较耐电压性。
亦即，作为现有的灯单元1，将触发构件3设于闪光灯2的发光管25 的外面，以构成图9所示的现有的灯单元1。另外，作为具有触发管的灯单 元l，作为将触发构件3设于发光管25外面的本实施例，构成图2所示的 灯单元1。
使用于实验1的闪光灯2准备在发光管25的内部26封入氙(Xe)气 体的样品。具体而言，准备图5 (a)所示的氙(Xe)气体的封入量不相同 的3种类闪光灯A C。
闪光灯A:氙气体的封入量300Torr
闪光灯B:氙气体的封入量450Torr
闪光灯C:氙气体的封入量600Torr
闪光灯A C是除了氙气体的封入量以外具有以下的共通的构成。 发光管25:石英玻璃(全长L2=580mm，内径L4=10.5mm，外径 L3=13mm)
-阴极24:含有钡*铝酸盐的钼 阳极23:钨
.电极23， 24间距离L1: 500mm
另外，使用于实验1的触发构件，准备了棒状的钨作为仅由用于构成 现有的灯单元1的导体所构成的触发构件3。另外，作为用于构成与上述本实施例比较的灯单元1的触发构件3，准
备将棒状的钨所构成的导体34封入于内部32的石英玻璃所构成的触发管 31。
具体而言，如图5 (b)所示地，准备了 1种现有的触发构件(现有例) 和触发管31的内部进行了减压或封入氙气体的3种触发构件。 ，现有例无触发管31
'触发构件a:触发管31的内部32为减压状态(0.01Torr)
'触发构件b:触发管31的内部32为氙气体OOOTorr)
触发构件c:触发管31的内部32为氙气体(450Torr)
现有例的触发构件导体34为钩棒(全长520mm，外径lmm)
触发构件a:导体34为钨棒(外径lmm)
'触发构件b:导体34为钨棒(外径lmm)
'触发构件c:导体34为钨棒(外径lmm)
触发构件a c的导体34是仅配置于设有一方的电极的区域上，构成 未配置于电极23， 24间距离Ll的空间部分的区域上(L9为550mm的触
发构件)。
另外，触发构件a c的触发管31是上述比较例1所示的触发管，具 有以下共通的构成。
,虫发管31:石英玻璃(全长L5=540mm，内径L7=2mm，外径L6=4mm) '金属箔35:钼箔
在实验1中，将具有上述导体34及触发管31的灯单元配置于包围灯 罩的黑暗部位，对于这些灯单元逐渐提高施加于电容器容量为200" F的电容器的充电电压，而在未将电压施加于触发构件3的状态下，测定在电极
23， 24间产生绝缘击穿时的电压。将该测定结果表示于图6。
如图6所示，对于灯单元A C的任一种，可知具有触发管31的灯单
元l都有优良的耐电压性。
尤其是也表示具有将氙气体封入于触发管31的触发管b及c的灯单元
有优良的耐电压性。 (2)实验2
在实验2中，本发明的灯单元1，加以比较变更使从沿配置于触发管 31的内部32的导体34的前端在发光管径向延伸的线，至沿阳极23前端在 发光管径向延伸的线为止在发光管25的管轴方向延伸的距离(图1所示的 L9)变化时的耐电压性。
在实验2中，准备了上述距离L9为0mm (导体34为横跨于设有阳极 23及阴极24的区域上及电极间的空间部分的区域上所配设的图3的比较例 1)， 250mm (图1所示的第1实施例的灯单元)，375mm， 500mm (在位于 沿径向延伸电极23， 24间的空间部分的区域上的发光管25外部的部分， 未配设有导体34的灯单元)，550mm (图2所示的第2实施例的灯单元) 的本发明的5种灯单元。
各灯单元具有以下的共通的构成。
<闪光灯>
发光管25:石英玻璃(全长L2=580mm，内径L4=10.5mm，外径 L3=13mm)
.发光管25的内部26: 450Torr 阴极24:含有钡*铝酸盐的钼 阳极23:钨
*电极23， 24间距离L1: 500mm
<触发构件3>
导体34:钩棒(外径4mm)
'触发管31:石英玻璃(内径L7二2mm，外径L6:4mm) .触发管31的内部32:氙气体(450Torr) *金属箔35:钼箔
在实验2中，将各灯单元配置于包围灯罩的黑暗部位，对于各灯单元1， 逐渐上升施加于电容器容量为200 ix F的电容器的充电电压，在未施加电压 于触发构件3的状态下，测定在电极23， 24间产生绝缘击穿时的电压。将 该测定结果表示于图7。
如图7所示，从沿触发管31的前端在发光管径向延伸的线一直到沿阳 极23的前端在发光管径向延伸的线在发光管25沿管轴向延伸的距离L9越 大越可提高耐电压性，尤其是距离L9为250mm以上，亦即，通过将导体 34的电极23， 24间的空间部分的区域上的长度作成一对电极23， 24间距 离L1的一半以下，就可提高耐电压性。
另外，将设于触发管31的内部32的导体34，仅配置于设有一方的电 极的区域上，构成未配置于电极23， 24间距离L1的空间部分的区域上(L9 为500mm及图2所示的550mm的灯单元)，由此，可提高灯2在点灯前电 极23， 24与导体34之间的耐电压性。另外，如此地构成，上述导体34也 不会妨碍利用在电极间发生的放电所产生的光。(3)实验3
在实验3中，变更触发管31的长度来比较灯2的点灯性。 亦即，在被连接于电极23， 24的电容器上施加6KV的充电电压的本 发明的灯单元l中，在使一对电极(阳极23及阴极24)的相对的电极23， 24间(距离Ll)的空间部分上的发光管25外面部分的触发管31的长度(图 4所示的L10)予以变更时，比较通过将电压施加于触发管31的灯2的点 灯性。
在实验3中，将相对的电极23， 24间的空间部分沿发光管25的径向 延长的区域的触发管31的长度L10为0mm (亦即，触发管31配设于将相 对的电极23， 24间的空间部分沿发光管25的径向延伸的区域以外的区域 的灯单元)，250mm(亦即，触发管31配设于将相对的电极23， 24间的空 间部分沿发光管的径向延伸的区域的一半的灯单元，图4所示的灯单元)， 375mm， 500mm (亦即，触发管31配设于将相对的电极23， 24间的空间 部分沿发光管的径向延伸的区域的全长的灯单元)，550mm(亦即，触发管 31配设于将相对的电极23，24间的空间部分沿发光管的径向延长的区域的 全长的灯单元1，另外，触发管31的50mm位于将电极23， 24所配设的 区域沿发光管的径向延伸的区域上的图3所示的灯单元)的5种灯单元。
另外，配设于触发管31的内部32的导体34，配设在触发管31的内部 32的其长度方向的大约全长。
各灯单元1是具有以下共通的构成。
<闪光灯>
发光管25:石英玻璃(全长L2=580mm，内径L4=10.5mm，外径L3=13mm)
*发光管25的内部26: 450Torr 阴极24:含有钡'铝酸盐的钼 阳极23:钨
-电极23， 24间距离L1: 500mm
<触发构件>
导体34:钨棒(外径-lmm)
*触发管31:石英玻璃(内径L7二2mm，外径L6=4mm) 触发管31的内部32:氙气体(450Torr) *金属箔35:钼箔
在实验3中，将各灯单元配置于包围在灯罩的黑暗部位，对于各灯单 元1，在将6KV的充电电压施加于电容器容量为200 u F的电容器的状态， 将15KV电压施加于触发构件31时作为试行次数1次，调查试行次数合计 IO次中，有闪光灯2进行发光的次数(发光次数)有几次。将其结果表示 于图8。
如图8所示，触发构件3的触发管31，在将电极23， 24间的空间部分 沿径向延伸的区域上的发光管25外面的部分，通过至少与其全长全面抵接， 在10次试行中，可实现灯2 10次全部点灯。由此，触发管31的长度在电 极23， 24间的距离L1以上较佳。
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权利要求
1. 一种灯单元，包括由一对电极、将该电极设于内部的发光管所构成的闪光灯，以及设于上述发光管的外部的触发用导体，其特征为在上述发光管的外部，沿着连结上述一对电极的轴，至少在该电极间的整个全长，设置具有介质性的触发管，将该触发管内作成比大气压还减压的状态，或是在内部封入惰性气体，在该触发管内，设置上述电极间的空间部分区域上的长度比上述电极间距离短的导体，而将该导体的至少一部分配置于上述电极之上。
2. 如权利要求1所述的灯单元，其特征为，将上述导体配置于上述电极 之上除了电极间的空间部分之上以外的区域。
全文摘要
本发明提供一种能抑制灯点灯开始前的电极与触发构件之间的绝缘击穿，而且可确实地进行闪光点灯的灯单元。在棒状发光管(25)的内部作为发光气体封入有稀有气体，一对电极(23，24)相对配置。在发光管(25)的外面设有触发构件(3)。触发构件(3)由如石英玻璃等具有介质性的构件所构成的直管状触发管(31)，及设于触发管(31)内的导体(34)所构成。上述导体(34)的长度为电极间的空间部分区域上的长度，比电极间距离L1短，由此，可抑制灯(2)在点灯前电极(23，24)与触发构件(3)之间的绝缘击穿。另外，将导体(34)设于具有介质性的触发管(31)的内部，因而可通过将电压施加于导体(34)而确实地进行点灯。
文档编号H01J61/54GK101488439SQ20091000348
公开日2009年7月22日 申请日期2009年1月15日 优先权日2008年1月15日
发明者横森岳彦 申请人:优志旺电机株式会社