技术编号：29990719
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种储存柜，尤其涉及一种光刻机掩膜版盒的储存柜。背景技术.光刻机是一种半导体生产设备，在光刻的过程中会利用到掩膜版，而由于晶圆进行光刻的图案有非常多种，因此就需要使用多非常多的掩膜版，这样就导致掩膜版盒的规格也非常多，而目前的掩膜版盒的储存方式是放置在一个掩膜版盒内，然后所有的掩膜版盒堆放在一个区域，当需要使用对应的掩膜版盒时需要人工翻动储存盒，找到对应的储存盒后取出掩膜版盒使用，这种储存方式存在以下弊端：、这种存放方式在寻找对应规格的掩膜时是比较繁琐的，寻找时间长；、目...
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