一种光刻机掩膜版盒的储存柜的制作方法

1.本实用新型涉及一种储存柜，尤其涉及一种光刻机掩膜版盒的储存柜。


背景技术：

2.光刻机是一种半导体生产设备，在光刻的过程中会利用到掩膜版，而由于晶圆进行光刻的图案有非常多种，因此就需要使用多非常多的掩膜版，这样就导致掩膜版盒的规格也非常多，而目前的掩膜版盒的储存方式是放置在一个掩膜版盒内，然后所有的掩膜版盒堆放在一个区域，当需要使用对应的掩膜版盒时需要人工翻动储存盒，找到对应的储存盒后取出掩膜版盒使用，这种储存方式存在以下弊端：1、这种存放方式在寻找对应规格的掩膜时是比较繁琐的，寻找时间长；2、目前的掩膜版盒虽然放置在储存盒内，但是储存盒是放置在工作空间内，空间中可能有灰尘会进入到储存盒内，从而附着在掩膜版盒上，这样就会影响光刻的精度和光刻质量。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机掩膜版盒的储存柜，该储存柜可以更好的储存掩膜版盒，方便掩膜版盒的寻找，避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒，每个收纳盒的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。
5.作为一种优选的方案，所述前腔体内安装若干块水平支撑板，所述水平支撑板将前腔体分隔成若干个用于放置收纳盒的放置腔，所述放置腔上设置有导轨组件，所述收纳盒安装于导轨组件上，所述放置腔内位于收纳盒的后侧固定有用于磁吸收纳盒的磁吸组件。
6.作为一种优选的方案，每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，所述下箱体内安装有控制柜，所述柜体的外部设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器和所述位置检测传感器与控制柜电连接，所述控制柜与所述抽气风机之间电连接。
7.作为一种优选的方案，所述位置检测传感器为接触式传感器，所述接触式传感器固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒的前面板后侧面接触配合。
8.作为一种优选的方案，所述柜体位于上腔体的外部还安装有补光灯。
9.作为一种优选的方案，所述过滤器为hepa过滤器。
10.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于该储存柜，包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒，每个收纳盒的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器，因此，在使用时将掩膜版盒按照标签纸上的信息放置在对应的收纳盒中，然后利用抽气风机进行抽气，外部的气体先经过过滤器过滤后就变成洁净的空气，洁净的空气通入到前腔体后，再进入到上腔体后排出，整个过程实现了空气的循环且净化，有效的避免了灰尘进入到收纳盒中而掉落到掩膜版盒内，利用该结构后，前腔体整体成一个正压状态，即使在取掩膜版盒时外部的灰尘也很难进入到收纳盒内。
11.又由于所述前腔体内安装若干块水平支撑板，所述水平支撑板将前腔体分隔成若干个用于放置收纳盒的放置腔，所述放置腔上设置有导轨组件，所述收纳盒安装于导轨组件上，所述放置腔内位于收纳盒的后侧固定有用于磁吸收纳盒的磁吸组件，利用该磁吸组件可以有效的固定收纳盒，使其关闭，当需要打开时，只需要人工将收纳盒抽出，此时抽拉的力会大于磁吸力，从而使收纳盒打开，方便拿出掩膜版盒。
12.又由于每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，所述下箱体内安装有控制柜，所述柜体的外部设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器和所述位置检测传感器与控制柜电连接，所述控制柜与所述抽气风机之间电连接，利用该位置检测传感器可以有效的检测收纳盒是否关闭到位，当操作人员将收纳盒打开取出掩膜版盒而忘记关闭收纳盒时，位置检测传感器检测到收纳盒打开，蜂鸣器就会报警。
13.又由于所述柜体位于上腔体的外部还安装有补光灯，该补光灯方便在取掩膜版盒时补光。
附图说明
14.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
15.图1是本实用新型实施例的结构示意图；
16.图2是本实用新型实施例的剖视图；
17.图3是图2在a处的放大示意图；
18.附图中：1.柜体；2.收纳盒；3.过滤器；4.温湿度传感器；5.蜂鸣器；6.补光灯；7.上水平分隔板；8.竖直分隔板；9.下水平分隔板；10.抽气风机；11.控制柜；12.下腔体；13.前腔体；14.后腔体；15.上腔体；16.接触式传感器；17.磁铁；18.导轨组件。
具体实施方式
19.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
20.如图1至图3所示，一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体1，所述柜体1内安装上水平分隔板7和下水平分隔板9，所述上水平分隔板7和下水平分隔板9将所述柜体1分隔成
上腔体15、中间腔体和下腔体12，所述上水平分隔板7和下水平分隔板9之间安装有竖直分隔板8，该竖直分隔板8将所述中间腔体分隔为前腔体13和后腔体14，所述前腔体13内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒2，每个收纳盒2的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸，所述后腔体14内安装有过滤器3，所述过滤器3为hepa过滤器3。所述后腔体14上设置有进气口，所述下腔体12上设置有抽气风机10，所述抽气风机10的进气口与后腔体14联通，所述抽气风机10的出气口与前腔体13连通，所述前腔体13与上腔体15连通，所述上腔体15上设置有排气口，所述上腔体15上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器4。
21.本实施例中，所述前腔体13内安装若干块水平支撑板，所述水平支撑板将前腔体13分隔成若干个用于放置收纳盒2的放置腔，所述放置腔上设置有导轨组件18，该导轨组件18为目前的常规结构，所述收纳盒2安装于导轨组件18上，所述放置腔内位于收纳盒2的后侧固定有用于磁吸收纳盒2的磁吸组件。其中本实施例中，磁吸组件为磁铁17，当收纳盒2为金属材质时，该磁吸组件采用永磁铁17，而当收纳盒2为塑料材质时，该磁吸组件为一对永磁铁17并通过通过极性之间相互固定。
22.另外每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒2是否关闭到位的位置检测传感器，所述下箱体内安装有控制柜11，所述柜体1的外部设置有蜂鸣器5，所述蜂鸣器5和所述接触式传感器16与控制柜11电连接，所述控制柜11与所述抽气风机10之间电连接。利用控制柜11可以控制抽气风机10的启停和功率输出，同时，接触式传感器16的检测信号可以传递给控制柜11，方便启动蜂鸣报警。所述位置检测传感器为接触式传感器16，所述接触式传感器16固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒2的前面板后侧面接触配合。当收纳盒2关闭时，前面板的后侧面会与接触式传感器16接触，从而出发闭合信号。
23.所述柜体1位于上腔体15的外部还安装有补光灯6。
24.以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。