技术编号：29993387
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及集成电路生产技术领域，具体为一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机。背景技术.集成电路板是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路，蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，主要应用于航空、机械、标牌工业中，在半导体和线路板生产制成上，蚀刻更是不可或缺的技术，尤其在集成电路生产领域受到了广泛使用，然而现在的蚀刻机还存在着一些问题，就比如：.根据专利号：cn.一种电解蚀刻机，操作面板与控制...
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