技术编号:3003683
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置,具体而言,涉及一种利用可移动的高能量激光加工形成表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置。背景技术 抛光一般是指化学机械研磨(CMP)制程中,对于初为粗糙表面的磨耗控制,其是利用含细粒子的研磨浆液平均分散于一抛光垫的上表面,同时将一待抛光物件抵住所述抛光垫后以重复规律动作搓磨。所述待抛光物件是诸如半导体、存储媒体基材、集成电路、LCD平板玻璃、光学玻璃与光电面板等物体。为了维持所述研磨浆液的分布与流动...
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