技术编号:30334602
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及吸盘,特别涉及一种硅片边缘刻蚀专用吸盘。背景技术.在米粒大的硅片上,已能集成万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑,地壳中含量达.%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,本实用新型涉及一种硅片边缘刻蚀专用吸盘。.专利号:cna的公布了一种吸盘,该设计密封面采用球铁本体堆焊不锈钢密封面不易磨损。.但是上述...
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