技术编号：30582048
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。背景技术.近年来，正在推进对声表面波(saw)滤波器等微小的电子器件的开发。对这样的电子器件进行密封的封装具有用于确保声表面波的传播、电子器件的可动部件的可动性的中空结构。.所述封装是通过使用感光性树脂组合物制作使形成有电极的布线基板上保持为中空的中空结构，并进行模制成形从而形成的。在此使用的感光性树脂组合物中，需要固化膜的薄膜化以及强度。.此外，感光性树脂组合物也用于半导体晶圆与透明基板之间的间隔件(壁材)。例如，使用负型的感光性树...
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