技术编号：30582839
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统技术领域.本发明涉及生产设备技术领域，尤其涉及一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统。背景技术.晶圆保护膜覆有的离型层之间涂覆有固定离型层的粘胶，现有技术改进后的粘胶固化工艺为紫外线光照固化，涂布和固化须分为两个工序操作，导致生产效率低，设备投入大，且固化前的半成品库存多，增加了企业的负担和生产成本。发明内容.针对上述问题，本发明的目的在于提出一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，uv固化传送辊内设有紫外线光源能促使粘胶快速固化。...
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