一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统的制作方法

一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统
技术领域
1.本发明涉及生产设备技术领域，尤其涉及一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统。


背景技术：

2.晶圆保护膜覆有的离型层之间涂覆有固定离型层的粘胶，现有技术改进后的粘胶固化工艺为紫外线光照固化，涂布和固化须分为两个工序操作，导致生产效率低，设备投入大，且固化前的半成品库存多，增加了企业的负担和生产成本。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本发明的目的在于提出一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，uv固化传送辊内设有紫外线光源能促使粘胶快速固化。
4.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
5.一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，包括放卷装置、离型膜复合涂布装置和收卷装置，还包括第一uv固化传送辊和第二uv固化传送辊；
6.所述收卷装置设有收卷辊组和卷收盘，所述收卷辊组设有多个传动辊，所述第一uv固化传送辊靠近所述收卷辊组的输入端安装，所述第二uv固化传送辊位于所述收卷辊组和所述卷收盘之间，所述第二uv固化传送辊靠近所述卷收盘的输入端安装，所述第一uv固化传送辊的辊面和所述第二uv固化传送辊的辊面分别与经过的晶圆保护膜的一面相抵；
7.所述第一uv固化传送辊和所述第二uv固化传送辊内均设有紫外线光源，两个所述紫外线光源分别穿过所述第一uv固化传送辊的辊面和所述第二uv固化传送辊的辊面照射在所述晶圆保护膜的一面。
8.具体的，所述第一uv固化传送辊和所述第二uv固化传送辊还均设有圆辊本体、端盖板和转轴；
9.所述圆辊本体为中空的圆柱形的玻璃体，所述圆辊本体的前后两端均安装有所述端盖板，两个所述转轴分别垂直于两个所述端盖板的中心处安装，所述转轴的一端与所述端盖板的外露的板面相抵，所述紫外线光源安装于所述圆辊本体内，所述紫外线光源发出的紫外线光穿过所述圆辊本体朝外照射于所述晶圆保护膜。
10.优选的，两个所述紫外线光源发出的紫外线光的主波段的波长不同；位于所述第一uv固化传送辊内的所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为200-290nm；
11.位于所述第二uv固化传送辊内的所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为320-400nm。
12.进一步的，所述圆辊本体的外侧面和内侧面分别镀有外增透膜层和内增透膜层，所述外增透膜层和所述内增透膜层均包括至少一个光学镀膜层；
13.所述光学镀膜层含有氟化镁、二氧化钛、二氧化硅、氧化铝、氧化锌和硫化锌中的至少一种。
14.进一步的，还包括遮光盖；
15.两个所述遮光盖分别遮盖于所述第一uv固化传送辊的周围和所述第二uv固化传送辊的周围；
16.所述端盖板为非透光材料。
17.优选的，所述紫外线光源为汞灯或led灯。
18.优选的，所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为200-290nm时，对应的所述外增透膜层和所述内增透膜层的厚度均为20-55nm；
19.所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为320-400nm时，对应的所述外增透膜层和所述内增透膜层的厚度均为30-70nm。
20.优选的，所述外增透膜层的厚度或所述内增透膜层的厚度均为厚度d,所述外增透膜层的折射率或所述内增透膜层的折射率为折射率n，对应的所述紫外线光源的波长为波长λ，所述厚度d的计算公式为d＝λ/4n；
21.所述外增透膜层或所述内增透膜层的镀膜工艺为真空蒸镀法、化学气相沉积法和溶胶凝胶法中的一种或两种；
22.所述外增透膜层或所述内增透膜层为单层结构、双层结构或多层结构。
23.优选的，所述圆辊本体的材质为石英玻璃。
24.本发明的上述技术方案的有益效果为：所述使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，第一uv固化传送辊和第二uv固化传送辊发出的紫外线光均可促使晶圆保护膜涂布有的粘胶内的粘合剂快速固化，从而可免去卷收后的晶圆保护膜需要再通过另外的固化工序对粘胶进行固化，可提高晶圆保护膜的生产效率，还可减少固化设备的投入，进而避免了固化前的半成品库存产生，减轻了企业的负担，并优化了生产成本。
附图说明
25.图1是本发明的使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统的一个实施例的结构示意图；
26.图2是图1的a部分的局部放大图；
27.图3是本发明的uv固化传送辊以led灯为紫外线光源的实施例的结构示意图；
28.图4是本发明的uv固化传送辊以汞灯为紫外线光源的实施例的结构示意图；
29.图5是图3的b部分的局部放大图；
30.图6为现有的光学镀膜材料的折射率数据；
31.其中：放卷装置1；晶圆保护膜2；离型膜复合涂布装置3；收卷装置4；第一uv固化传送辊5；第二uv固化传送辊6；遮光盖7；收卷辊组41；卷收盘42；圆辊本体51；紫外线光源52；端盖板53；转轴54；外增透膜层55；内增透膜层56。
具体实施方式
32.下面结合附图1-6并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
33.附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
34.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是装置械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接连接，可以说两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明的具体含义。
35.在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
36.一种使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，包括放卷装置1、离型膜复合涂布装置3和收卷装置4，还包括第一uv固化传送辊5和第二uv固化传送辊6；
37.所述收卷装置4设有收卷辊组41和卷收盘42，所述收卷辊组41设有多个传动辊，所述第一uv固化传送辊5靠近所述收卷辊组41的输入端安装，所述第二uv固化传送辊6位于所述收卷辊组41和所述卷收盘42之间，所述第二uv固化传送辊6靠近所述卷收盘42的输入端安装，所述第一uv固化传送辊5的辊面和所述第二uv固化传送辊6的辊面分别与经过的晶圆保护膜2的一面相抵；
38.所述第一uv固化传送辊5和所述第二uv固化传送辊6内均设有紫外线光源52，两个所述紫外线光源52分别穿过所述第一uv固化传送辊5的辊面和所述第二uv固化传送辊6的辊面照射在所述晶圆保护膜2的一面。
39.如图1和2所示，本发明的所述使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，晶圆保护膜2从放卷装置1输出，再经过离型膜复合涂布装置3涂覆粘胶，粘胶的表面覆盖有离型膜，覆盖有离型膜的晶圆保护膜2从离型膜复合涂布装置3的输出端进入收卷装置4卷收为卷料，收卷装置4设有卷收盘42，在覆盖有离型膜的晶圆保护膜2在卷入卷收盘42之前，覆盖有离型膜的晶圆保护膜2经过第一uv固化传送辊5的辊面和第二uv固化传送辊6的辊面，被第一uv固化传送辊5内的紫外线光源52和第二uv固化传送辊6内的紫外线光源52照射，紫外线光源52为冷光源，不会导致晶圆保护膜2受热收缩和形变，并且两个紫外线光源52发出的紫外线光均可促使晶圆保护膜2涂布有的粘胶内的粘合剂快速固化，从而可免去卷收后的晶圆保护膜2需要再通过另外的固化工序对粘胶进行固化，可提高晶圆保护膜2的生产效率，还可减少固化设备的投入，进而避免了固化前的半成品库存产生，减轻了企业的负担，并优化了生产成本。
40.具体的，所述第一uv固化传送辊5和所述第二uv固化传送辊6还均设有圆辊本体51、端盖板53和转轴54；
41.所述圆辊本体51为中空的圆柱形的玻璃体，所述圆辊本体51的前后两端均安装有所述端盖板53，两个所述转轴54分别垂直于两个所述端盖板53的中心处安装，所述转轴54的一端与所述端盖板53的外露的板面相抵，所述紫外线光源52安装于所述圆辊本体51内，所述紫外线光源52发出的紫外线光穿过所述圆辊本体51朝外照射于所述晶圆保护膜2。
42.如图3和4所示，圆辊本体51内安装有紫外线光源52，紫外线光源52发出的紫外线光穿过圆辊本体51照射于晶圆保护膜2，从而使有胶内的粘合剂快速固化。
43.进一步的，两个所述紫外线光源52发出的紫外线光的主波段的波长不同，位于所述第一uv固化传送辊5内的所述紫外线光源52的紫外线光的主波段的波长为200-290nm；
44.位于所述第二uv固化传送辊6内的所述紫外线光源52的紫外线光的主波段的波长为320-400nm。
45.波长为200-290nm短波紫外线光可快速固化粘胶表层的粘合剂，波长为320-400nm长波紫外线光可透射并渗入粘胶内促进粘合剂的固化，将上述两个紫外线光源52间隔安装于收卷装置4中，两个紫外线光源52分别发出的短波紫外线光和长波紫外线光可使晶圆保护膜2涂布的粘胶得到完全固化。
46.进一步的，所述圆辊本体51的外侧面和内侧面分别镀有外增透膜层55和内增透膜层56，所述外增透膜层55和所述内增透膜层56均包括至少一个光学镀膜层；
47.所述光学镀膜层含有氟化镁、二氧化钛、二氧化硅、氧化铝、氧化锌和硫化锌中的至少一种。
48.如图3-5所示，紫外线光源52发出的紫外线光依次穿过外增透膜层55、圆辊本体51和内增透膜层56，外增透膜层55和内增透膜层56具有减少紫外线光穿过圆辊本体51的玻璃体形成折射时的能量损失，从而提高所述使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统的固化效率。
49.外增透膜层55和内增透膜层56的化学成分为氟化镁、二氧化钛、二氧化硅、氧化铝、氧化锌或硫化锌，不仅具有减少紫外线光折射损失的作用，还具有环保无辐射的优点，现有的光学镀膜材料的折射率数据详见图6所示。
50.进一步的，还包括遮光盖7；
51.两个所述遮光盖7分别遮盖于所述第一uv固化传送辊5的周围和所述第二uv固化传送辊6的周围；
52.所述端盖板53为非透光材料。
53.如图1和2所示，遮光盖7可遮挡隔离第一uv固化传送辊5内的紫外线光源52或第二uv固化传送辊6内的紫外线光源52发出的紫外线光，防止紫外线光的辐射外泄，从而避免操作人员受伤害。
54.端盖板53为非透光材料，不仅具有固定圆辊本体51和紫外线光源52的作用，还可以遮挡紫外线光源52减少紫外线光的外泄。
55.优选的，所述紫外线光源52为汞灯或led灯。
56.如图3-4所示，汞灯包括低压汞灯和高压汞灯，分别可发出短波紫外线光和长波紫外线光，led灯也可制成可发出短波紫外线光或长波紫外线光的光源。
57.优选的，所述紫外线光源52的紫外线光的主波段的波长为200-290nm时，对应的所述外增透膜层55和所述内增透膜层56的厚度均为20-55nm；
58.所述紫外线光源52的紫外线光的主波段的波长为320-400nm时，对应的所述外增透膜层55和所述内增透膜层56的厚度均为30-70nm。
59.外增透膜层55或内增透膜层56的厚度与对应的紫外线光源52的紫外线光的主波段的波长相匹配，可使对应的紫外线光源52发出的紫外线光具有较少的折射能量损失。
60.优选的，所述外增透膜层55的厚度或所述内增透膜层56的厚度均为厚度d,所述外增透膜层55的折射率或所述内增透膜层56的折射率为折射率n，对应的所述紫外线光源52
的波长为波长λ，所述厚度d的计算公式为d＝λ/4n；
61.所述外增透膜层55或所述内增透膜层56的镀膜工艺为真空蒸镀法、化学气相沉积法和溶胶凝胶法中的一种或两种；
62.所述外增透膜层55或所述内增透膜层56为单层结构、双层结构或多层结构。
63.如图5所示，当外增透膜层55或内增透膜层56的折射率n和厚度d与对应的紫外线光源52的波长λ满足条件d＝λ/4n时，紫外线光源52穿过圆辊本体51折射时的能量损失最少，所述使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统的固化效率最佳。
64.可采用光学镀膜材料，并选用空蒸镀法、化学气相沉积法和溶胶凝胶法中的一种或两种，在圆辊本体51的内外侧面镀膜以获得分布均匀且致密的增透膜层；形成的增透膜层为单层结构、双层结构或多层结构。
65.本发明的一个实施例：以光学镀膜材料氟化镁制得的增透膜的折射率为1.38，按照d＝λ/4n的公式可以计算得出：波长为245nm的短波的紫外线光源52对应的增透膜的最佳厚度d＝245/(4*1.38)＝44.38nm，波长为365nm的长波的紫外线光源52对应的增透膜的最佳厚度d＝365/(4*1.38)＝66.12nm。
66.优选的，所述圆辊本体51的材质为石英玻璃。
67.石英玻璃不仅具有较好的硬度和耐热性能，还具有良好的透光率。
68.综上所述，如图1-6所示的本发明的实施例，所述使用uv固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，第一uv固化传送辊5和第二uv固化传送辊6发出的紫外线光均可促使晶圆保护膜2涂布有的粘胶内的粘合剂快速固化，从而可免去卷收后的晶圆保护膜2需要再通过另外的固化工序对粘胶进行固化，可提高晶圆保护膜2的生产效率，还可减少固化设备的投入，进而避免了固化前的半成品库存产生，减轻了企业的负担，并优化了生产成本。
69.以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明的保护范围之内。