技术编号:30888447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体涉及真空镀膜设备。背景技术.在真空镀膜工艺中,对基板加热可在一定程度上解决基板的翘曲变形问题,提高成膜均匀性。传统真空镀膜工艺中基板的加热多采用电阻丝加热的方式,电阻丝通电产生热量,热量传递给承载基板的样品台,样品台温度升高将热量传递给基板,加热效率低,能量利用率低,控温精度不高。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供一种能够解决现有技术中样品台加热效率低、能量利用率低或控温精度不高等问题的真空镀膜设备。本实用新型提供的技术方案为:.真空镀膜设备,包...
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