技术编号:30909958
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及产生等离子体的等离子体装置。背景技术.以往,提出了各种产生等离子体的等离子体装置。例如,下述专利文献的等离子体装置向配置有一对电极的反应室供给处理气体,使一对电极间产生放电,使处理气体等离子体化。该等离子体装置将装置的状态存储于存储装置。.现有技术文献.专利文献:国际公开第wo/号发明内容.发明所要解决的课题.在这种等离子体装置中,例如,将与装置的状态相关的信息每隔一定时间作为历史记录存储到存储装置中。等离子体装置在检测到装置的异常时,将从检测到异...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。