等离子体装置的制作方法

1.本公开涉及产生等离子体的等离子体装置。


背景技术：

2.以往，提出了各种产生等离子体的等离子体装置。例如，下述专利文献1的等离子体装置向配置有一对电极的反应室供给处理气体，使一对电极间产生放电，使处理气体等离子体化。该等离子体装置将装置的状态存储于存储装置。
3.现有技术文献
4.专利文献1：国际公开第wo2019/145990号


技术实现要素：

5.发明所要解决的课题
6.在这种等离子体装置中，例如，将与装置的状态相关的信息每隔一定时间作为历史记录存储到存储装置中。等离子体装置在检测到装置的异常时，将从检测到异常的时间起到预定时间前为止的历史记录与发生的异常建立关联地进行存储。但是，在该存储处理中，由于仅存储每隔一定时间的历史记录，因此难以根据历史记录判断异常发生时的等离子体装置的状态。
7.本公开是鉴于上述课题提出的，其目的在于提供能够更准确地判断异常发生时的装置的状态的等离子体装置。
8.用于解决课题的技术方案
9.本说明书公开一种等离子体装置，该等离子体装置具备：异常检测装置，检测异常；及控制装置，每隔预定时间存储与等离子体装置的状态相关的状态信息，并存储由所述异常检测装置检测到异常时的与所述等离子体装置的状态相关的异常状态信息。
10.发明效果
11.根据本公开的等离子体装置，除了每隔预定时间存储有与装置的状态相关的状态信息的信息以外，还能够存储检测到异常时的装置的异常状态信息。由此，能够通过异常状态信息掌握异常时的状态，能够通过状态信息掌握异常的前后的状态。因此，能够更准确地判断异常发生时的装置的状态。
附图说明
12.图1是表示等离子体装置的图。
13.图2是等离子体头的立体图。
14.图3是在电极及主体侧等离子体通路的位置沿着x方向及z方向切断等离子体头而得到的剖视图。
15.图4是图3中的a-a线处的剖视图。
16.图5是表示等离子体装置的结构的框图。
17.图6是表示电流传感器、压力传感器等的连接结构的框图。
18.图7是用于说明存储状态信息、异常状态信息、设定信息、工作时间信息的处理的图。
19.图8是用于说明存储其他例的状态信息、异常状态信息、设定信息、工作时间信息的处理的图。
20.图9是表示操作部的显示画面的图。
21.图10是表示操作部的显示画面的图。
22.图11是表示操作部的显示画面的图。
23.图12是表示操作部的显示画面的图。
具体实施方式
24.以下，参照附图对用于实施本公开的一个方式详细地进行说明。如图1所示，本实施方式的等离子体装置10具备：等离子体头11、机器人13及控制箱15。等离子体头11以可拆装的方式安装于机器人13的前端部。机器人13例如是串联连杆式机器人(也能够称为多关节型机器人)。等离子体头11能够在安装于机器人13的前端的状态下照射等离子体气体。等离子体头11根据机器人13的驱动而移动、变更朝向等，能够三维地移动。
25.控制箱15以计算机为主体而构成，总括地控制等离子体装置10。控制箱15具有向等离子体头11供给电力的电源部15a及向等离子体头11供给处理气体的气体供给部15b。电源部15a经由电力电缆16和控制电缆18而与等离子体头11连接。电源部15a基于控制箱15的控制，进行变更施加于等离子体头11的电极33(参照图3)的电压的控制和对后述的加热器43(参照图4)的温度进行控制。
26.另外，气体供给部15b经由多个(在本实施方式中为四根)气体供给管19而与等离子体头11连接。气体供给部15b基于控制箱15的控制，向等离子体头11供给后述的反应气体(处理气体的一例)、载气(处理气体的一例)及加热气体(处理气体的一例)。控制箱15控制气体供给部15b，控制从气体供给部15b向等离子体头11供给的处理气体的量和流速等。并且，等离子体装置10基于控制箱15的控制使机器人13动作，从等离子体头11对载置于工作台17上的被处理物w照射等离子体气体。
27.另外，控制箱15具备具有触摸面板和各种开关的操作部15c。控制箱15将各种设定画面和动作状态(例如，气体供给状态等)等显示于操作部15c的触摸面板。另外，控制箱15通过对于操作部15c的操作输入而受理各种信息。
28.等离子体头11以可拆装的方式设置于在机器人13的前端设置的安装板13a。由此，等离子体头11能够更换为种类不同的等离子体头11。如图2所示，等离子体头11具备等离子体生成部21、加热气体供给部23、喷嘴35等。等离子体生成部21将从控制箱15的气体供给部15b(参照图1)供给的处理气体等离子体化，而生成等离子体气体。另外，等离子体头11通过设置于内部的加热器43(参照图4)对从气体供给部15b供给的处理气体进行加热而生成加热气体。加热气体的温度例如为600℃至800℃。本实施方式的等离子体头11将在等离子体生成部21生成的等离子体气体与加热后的加热气体一起向图1所示的被处理物w喷出。向等离子体头11沿着图2所示的箭头的方向从上游侧向下游侧供给处理气体。另外，等离子体头11也可以是不具备对加热气体进行加热的加热器43的结构。即，本公开的等离子体装置也
可以是不使用加热气体的结构。
29.如图2所示，在等离子体头11的连接面11a，安装电力电缆16的安装部11b设置在大致中央部。另外，在连接面11a的一端设置有安装控制电缆18的安装部11c。另外，在将安装部11b夹在中间而与安装部11c相反的一侧，设置有安装气体供给管19的安装部11d。安装部11d例如与设置于气体供给管19的前端的安装部件25连接。安装部11d及安装部件25例如是所谓的单触式接头，将气体供给管19以可拆装的方式安装于等离子体头11。
30.如图3及图4所示，等离子体生成部21包含头主体部31、一对电极33及喷嘴35等。另外，图3是对应于一对电极33及后述的多个主体侧等离子体通路71的位置地进行切断而得到的剖视图，图4是图3中的a-a线处的剖视图。头主体部31由耐热性较高的陶瓷成形，在该头主体部31的内部，形成有产生等离子体气体的反应室37。一对电极33例如分别呈圆柱形状，以使其前端部向反应室37突出的状态被固定。在以下的说明中，有时将一对电极33简称为电极33。另外，将一对电极33排列的方向称为x方向，将圆柱形状的电极33的轴向称为z方向，将与x方向及z方向正交的方向称为y方向来进行说明。
31.加热气体供给部23具备气体管41、加热器43、连结部45等。气体管41及加热器43安装于头主体部31的外周面，被图4所示的罩47覆盖。气体管41经由气体供给管19(参照图1)而与控制箱15的气体供给部15b连接。从气体供给部15b向气体管41供给加热用气体(例如，空气)。加热器43安装于气体管41的中途。加热器43对在气体管41中流动的加热用气体进行加热而生成加热气体。另外，在加热器43设置有用于检测加热器43的加热温度的热电偶92(参照图5)。
32.如图4所示，连结部45将气体管41与喷嘴35连结。在喷嘴35安装于头主体部31的状态下，连结部45的一端部与气体管41连接，另一端部与形成于喷嘴35的加热气体通路51连接。经由气体管4而1向加热气体通路51供给加热气体。
33.如图3及图4所示，电极33的一部分的外周部被由陶瓷等绝缘体制造的电极罩53覆盖。电极罩53呈大致中空筒状，在长度方向上的两端部形成有开口。电极罩53的内周面与电极33的外周面之间的间隙作为气体通路55发挥功能。电极罩53的下游侧的开口与反应室37连接。电极33的下端从电极罩53的下游侧的开口突出。
34.另外，在头主体部31的内部形成有反应气体流路61和一对载气流路63。反应气体流路61设置于头主体部31的大致中央部，经由气体供给管19(参照图1)而与气体供给部15b连接，使从气体供给部15b供给的反应气体向反应室37流入。另外，一对载气流路63在x方向上配置于将反应气体流路61夹在中间的位置。一对载气流路63分别经由一对气体供给管19(参照图1)而分别与气体供给部15b连接，从气体供给部15b供给载气。载气流路63使载气经由气体通路55而向反应室37流入。图1及图2所示的四根气体供给管19例如是向一对载气流路63分别供给载气的两根气体供给管19、供给反应气体的一根气体供给管19、供给加热气体(加热前的加热用气体)的气体供给管19。
35.作为反应气体(种子气体)，可以采用氧(o2)。气体供给部15b例如经由反应气体流路61而使氧与氮(n2)的混合气体(例如，干燥空气(air))流入反应室37的电极33之间。以下，为了方便，有时将混合气体称为反应气体，将氧称为种子气体。作为载气，能够采用氮。气体供给部15b使载气从气体通路55分别以包围一对电极33中的各电极33的方式流入。
36.从控制箱15的电源部15a向一对电极33施加交流的电压。通过施加电压，例如，如
图3所示，在反应室37内，在一对电极33的下端之间产生模拟电弧a。在反应气体通过该模拟电弧a时，反应气体被等离子体化。因此，一对电极33产生模拟电弧a的放电，将反应气体等离子体化，产生等离子体气体。
37.另外，在头主体部31中的反应室37的下游侧的部分形成有多个(在本实施例中，为六根)主体侧等离子体通路71。多个主体侧等离子体通路71的上游侧的端部在反应室37开口，多个主体侧等离子体通路71的下游侧的端部在头主体部31的下端面开口。
38.喷嘴35例如由耐热性较高的陶瓷成形。喷嘴35通过螺栓80固定于头主体部31的下表面。因此，喷嘴35能够相对于头主体部31进行拆装，能够变更为种类不同的喷嘴。在喷嘴35形成有在上端面开口的一对槽81。一对槽81分别例如与在头主体部31的下端面开口的三根主体侧等离子体通路71连通。另外，在喷嘴35形成有沿着z方向贯通的多个(在本实施例中，为十根)喷嘴侧等离子体通路82。在喷嘴侧等离子体通路82的上端连接有槽81(例如，各五根)。另外，图3及图4所示的喷嘴35的形状、构造是一例。
39.另外，在喷嘴35中以包围喷嘴侧等离子体通路82的方式形成有加热气体用通路95。加热气体用通路95的上部经由加热气体通路51而与加热气体供给部23的连结部45连结。加热气体用通路95的下端在喷嘴35的下表面开口。
40.通过这样的构造，在反应室37中产生的等离子体气体与载气一起经由主体侧等离子体通路71而向槽81的内部喷出。并且，等离子体气体在槽81的内部扩散，经由多个喷嘴侧等离子体通路82中的各喷嘴侧等离子体通路82而从喷嘴侧等离子体通路82的下端的开口82a喷出。另外，从气体管41向加热气体通路51供给的加热气体在加热气体用通路95中流动。该加热气体作为保护等离子体气体的保护气体发挥功能。加热气体在加热气体用通路95中流动，从加热气体用通路95的下端的开口95a沿着等离子体气体的喷出方向喷出。此时，加热气体以包围从喷嘴侧等离子体通路82的开口82a喷出的等离子体气体的周围的方式喷出。这样，通过将加热后的加热气体向等离子体气体的周围喷出，而能够提高等离子体气体的功能(润湿性等)。
41.接下来，对控制箱15的详细结构进行说明。如图5所示，控制箱15除了上述的电源部15a、气体供给部15b、操作部15c之外，还具备控制器100、驱动电路105、控制电路106、通信部107、漏电检测装置110、电流传感器111、存储装置116等。控制器100以具备未图示的cpu、rom、ram等的计算机为主体构成。控制器100利用cpu执行程序，控制电源部15a、驱动电路105、气体供给部15b等，由此控制等离子体头11、加热气体供给部23等。另外，有时仅以装置名来记载利用cpu执行程序的控制器100。例如，“控制器100”这一记载有时意味着“利用cpu执行程序的控制器100”。
42.另外，控制器100经由控制电路106而与操作部15c连接。控制器100经由控制电路106而变更操作部15c的触摸面板的显示。另外，控制器100经由控制电路106受理对于操作部15c的操作输入。另外，存储装置116例如组合硬盘驱动器、ram、rom等而构成。控制器100例如将与等离子体装置10的状态相关的状态信息118和与检测到异常时的等离子体装置10的状态相关的异常状态信息119存储于存储装置116。另外，控制器100将与等离子体装置10的设定相关的设定信息120、工作时间信息121存储于存储装置116。关于状态信息118、异常状态信息119、设定信息120、工作时间信息121的详细内容，将在后面叙述。
43.另外，通信部107与连接到未图示的网络的通信设备进行通信。通信的方式不作特
别限定，例如是lan、串行通信等。另外，控制器100也可以不将状态信息118、异常状态信息119、设定信息120、工作时间信息121存储于控制箱15内的存储装置116，而经由通信部107存储于网络上的服务器装置等。
44.漏电检测装置110是检测连接电源部15a与等离子体头11(电极33)的电力电缆16的漏电电流的装置。漏电检测装置110的结构不作特别限定。例如，漏电检测装置110具备对电力电缆16进行屏蔽的导电性的屏蔽部件和使屏蔽部件接地的接地电缆，检测流过接地电缆的漏电电流。漏电检测装置110将检测到的漏电电流的电流值向控制器100输出。
45.如图6所示，电源部15a生成从商用电源向电极33供电的高频的交流电力，将生成的交流电力向电极33供电。电流传感器111检测在用于从电源部15a向电极33供给电力的电力电缆16中流动的电流。详细而言，电流传感器111例如具备电流互感器，对与由电流互感器检测出的流过电力电缆16的电流值对应的检测电压进行ad转换，将与电流值对应的数字值向控制器100输出。以下，有时将与电流值对应的数字值简单地记载为电流值。
46.另外，气体供给部15b具备气体产生装置109、多个质量流量控制器112(图6中的f1～f5)、多个压力传感器113(图中的白色的四角)等。气体产生装置109是供给反应气体、载气、加热用气体中的各气体的供给源的装置。气体产生装置109例如供给氮(n2)、氧(o2)、空气(air、干燥空气等)。气体产生装置109具备成为空气的供给源的压缩机、用于去除从压缩机供给的空气的湿气的干燥器、从干燥空气分离氮和氧的分离装置等。另外，作为反应气体的种子气体的氧，气体产生装置109也可以使用含氧的空气或干燥空气。
47.气体产生装置109分别供给反应气体(氧、氮)、载气(氮)、加热用气体(空气)作为处理气体。多个质量流量控制器112例如与各处理气体分别对应地设置，基于控制器100的控制来控制各处理气体的流量。各质量流量控制器112将调整后的实际供给的流量的值(测定值)输出到控制器100。
48.另外，多个压力传感器113检测由各质量流量控制器112调整了流量的处理气体的压力值。另外，压力传感器113检测在混合器115中混合反应气体(氧、氮)而得到的混合气体的压力值。因此，压力传感器113检测作为反应气体(种子气体)的氧(o2)、与氧混合的氮(n2)、混合后的混合气体(干燥空气)各自的压力。另外，压力传感器113单独地检测在与一对载气流路63分别连接的气体供给管19中流动的载气的压力。另外，压力传感器113检测向气体管41供给的加热用气体(加热前的空气)的压力值。各压力传感器113将检测出的压力值输出到控制器100。
49.另外，如图5所示，在驱动电路105电连接有加热器43及安装于加热器43附近的热电偶92。驱动电路105将与热电偶92的输出值对应的温度向控制器100输出。驱动电路105基于热电偶92的输出值来控制加热器43的加热温度，以成为控制器100所指示的目标温度。温度传感器114例如设置于等离子体头11内。温度传感器114例如具有热电偶，检测等离子体气体的温度，将检测出的温度向控制器100输出。
50.接下来，对本实施方式的控制器100执行的存储处理进行说明。控制器100例如当经由操作部15c的触摸面板而受理了等离子体处理的开始的指示时，开始等离子体产生控制。在等离子体产生控制中，控制器100使电源部15a开始向电极33供给预定的电力的控制，使气体供给部15b开始处理气体(载气、反应气体、加热用气体)的供给。气体供给部15b基于设定信息120等，以预定的气体流量及气体压力开始处理气体的供给。另外，控制器100控制
驱动电路105，以成为预定的温度的方式控制加热器43的加热温度。
51.另外，控制器100在开始进行等离子体产生控制时，每隔预定时间地将与等离子体装置10的状态相关的状态信息118存储于存储装置116。图7表示存储状态信息118、异常状态信息119、设定信息120、工作时间信息121的处理的时间序列。控制器100例如在开始进行等离子体产生控制时，每隔1s(秒)存储状态信息118。控制器100例如将由漏电检测装置110检测出的漏电电流的电流值、从电流传感器111输出的电流值、从气体供给部15b输出的流量值、从压力传感器113输出的压力值、从驱动电路105及温度传感器114输出的温度等作为状态信息118与每隔1秒的时刻建立对应地存储于存储装置116。控制器100例如每隔1秒存储状态信息118，当存储了10秒(10次)的期间t1的状态信息118时，用新的状态信息118覆写最早的状态信息118。由此，控制器100能够保留最新的10秒(期间t1)的状态信息118作为历史记录。另外，存储上述的状态信息118的预定时间(1秒)、存储状态信息118的期间t1(10秒)是一例。
52.另外，如图7所示，控制器100当在等离子体装置10中检测到某种异常状态时，将检测到该异常状态时的等离子体装置10的状态信息作为异常状态信息119进行存储。另外，控制器100存储检测到异常时的设定信息120和直到检测到异常的时间点为止的工作时间(工作时间信息121)。并且，控制器100在检测到异常时，将从检测到异常的时间点起(或之前的)10次的状态信息118、即最新的状态信息118与异常状态信息119、设定信息120及工作时间信息121建立关联地存储于存储装置116。
53.因此，本实施方式的控制器100基于通过漏电检测装置110等的检测值检测到异常这一情况，将状态信息118与异常状态信息119建立关联地存储。控制器100存储从检测到异常的时间点起直到一定时间之前的期间(包含10秒的期间t1的期间)所包含的状态信息118。
54.由此，控制器100当检测到异常时，将状态信息118与异常时的异常状态信息119建立关联地存储。控制器100存储从检测到异常的时间点起直到一定时间之前为止的状态信息118作为该状态信息118。由此，能够存储在发生异常之前装置处于何种状态，能够更准确地掌握异常发生时的装置的状态。
55.另外，控制器100与异常状态信息119建立关联地存储的状态信息118不限于异常发生前的信息。例如，如图8所示，控制器100也可以将夹着检测到异常的时间点的10秒钟的状态信息118与异常状态信息119建立关联地存储。或者，控制器100也可以将发生异常后的10秒(10次)的状态信息118与异常状态信息119建立关联地存储。
56.另外，控制器100将与等离子体装置10的设定相关的设定信息120且检测到异常时的设定信息120与异常状态信息119建立关联地存储。用于判定等离子体气体的产生状态的阈值和处理气体的流量等作业者以何种设定使用等离子体装置10在判断异常的原因方面为重要的信息。将这样的能够在使用者侧变更的设定信息且异常发生时的设定信息120(参照图11)与异常状态信息119建立关联地存储。由此，能够更准确地掌握异常发生时的装置的状态。
57.控制器100例如当检测到装置的异常时，停止向电极33的供电，停止处理气体的供给，停止加热气体供给部23的动作，使等离子体产生控制结束。由此，等离子体装置10的等离子体产生停止。控制器100当检测到异常且等离子体产生控制结束了时，使操作部15c的
画面显示检测到的异常的信息。
58.图9表示显示了异常的信息的操作部15c的显示画面的一例。如图9所示，控制器100在操作部15c的显示画面141(触摸面板)上显示项目栏143、状态显示栏145、代表异常一览147、返回按钮149及滚动按钮151。项目栏143表示在显示画面141上显示的画面的标题。控制器100显示“警报详情”的文字作为显示代表异常一览147的画面的标题。
59.另外，控制器100将等离子体装置10的当前的状态显示于状态显示栏145。在状态显示栏145中显示的状态例如是起动中、初始化中、待机中、等离子体处理中等各种的状态。返回按钮149是用于返回到前一个显示状态的按钮。
60.代表异常一览147是用于以时间序列显示检测到的异常的显示栏。控制器100例如当利用等离子体装置10具备的各种传感器(漏电检测装置110、电流传感器111、质量流量控制器112、压力传感器113、温度传感器114、热电偶92等)中的至少一个传感器的检测值检测到异常时，判断为等离子体装置10发生了异常。控制器100例如当从气体供给部15b供给的反应气体、载气、加热用气体的流量、从电源部15a向电极33施加的电压值、流过电极33的电流值中的至少以个值成为了表示异常的值时，判断为发生了异常。如图9及后述的图12所示，控制器100例如将等离子体漏电异常、气体压力上升异常、气体压力传感器异常、低电流异常、main(gas1)流量异常等作为异常进行检测。等离子体装置10检测的异常的种类不作特别限定。例如，控制器100在由漏电检测装置110检测出的漏电电流的电流值超过了设定信息120的阈值的情况下，判断为等离子体漏电异常。另外，例如，控制器100在由压力传感器113等检测出的处理气体的压力值超过了设定信息120的阈值的情况下，判断为气体压力传感器异常。
61.另外，控制器100以使发生异常的日期时间成为时间顺序的方式显示于代表异常一览147。控制器100例如将最新的异常的显示名显示在代表异常一览147的最上方，从代表异常一览147的上到下依次显示过去的异常的显示名。控制器100在各显示名的左边从新的异常起依次显示1、2、
……
这样的编号。控制器100基于对于滚动按钮151的操作输入，而显示代表异常一览147中未完全显示的异常的显示名等。
62.另外，控制器100在同时检测到了多种异常的情况下，选择多种异常中的一种异常作为代表异常并显示于代表异常一览147。具体而言，控制器100例如以比存储状态信息118的1秒的周期短的监视周期判定各种传感器的检测值。控制器100在根据在同一监视周期中检测到的多个的检测值检测到多个异常的情况下，将这些异常作为同时发生的异常进行处理。控制器100从同时发生(检测)的多个的异常中选择代表异常，并将所选择的代表异常显示于代表异常一览147。另外，控制器100在后述的图12的显示画面167中一并显示包括代表异常在内的同时发生的多个异常。控制器100在代表异常一览147中按时间序列顺序显示在不同的时间发生的代表异常的显示名。由此，在同时发生了多种异常的情况下，能够从多种异常中选择代表性的异常并显示于代表异常一览147。另外，如上所述，本公开的同时检测到的异常不仅将两个以上的异常作为在同一时间(同一定时)检测到的异常，例如将1秒等较短的时间期间连续地检测到的异常也作为同时检测到的异常进行处理。
63.另外，从多种异常中选择代表异常的方法不作特别限定。例如，也可以预先对等离子体装置10进行设定，以在等离子体装置10的供应商侧取得异常的发生频度的统计，将发生频度更多的异常作为代表异常进行显示。或者，控制器100也可以从在生产线等中开始等
离子体装置10的实际的使用起，取得在该使用环境中发生的异常的种类的统计，将发生频度更高的异常或者发生频度较低的异常作为代表异常来进行选择。另外，控制器100例如也可以划分多个种类的异常中的电流的异常、气体、热等的异常的种类，从发生的数量较多的种类中选择代表异常。
64.如图9所示，控制器100在显示画面141显示代表异常一览147的状态下，当对代表异常一览147中显示的代表异常中的任意的一个进行了触摸操作时，将图10所示的显示画面153显示于操作部15c。作为显示画面153的项目栏143，控制器100显示在图9的显示画面141中选择的代表异常的编号。作为一例，图10的项目栏143表示选择了代表异常一览147的第一个(等离子体漏电异常)的情况(选择了警报1的情况)。
65.另外，控制器100在显示画面153中将检测到在图9中选择的代表异常(该情况为警报1的等离子体漏电异常)时的异常状态信息119及状态信息118汇总作为一览显示于异常一览部155。如图10所示，在异常一览部155中，以多个行列进行划分而显示有异常状态信息119及状态信息118。
66.在异常一览部155的最上面显示有成为各列的说明的项目名。在异常一览部155的最上面，例如显示时间点、mg1(fr)、mg2(fr)、s1(fr)、s2(fr)、h(fr)、
……
和多个项目名。在本实施方式中，例如，将17个项目名设定在异常一览部155中。在图10中，在异常一览部155中仅显示17个项目名中的6个项目名。控制器100基于异常一览部155的右侧的滚动按钮157被操作，来显示未被显示的右侧的项目名。
67.项目名为时间点的列在最上面显示异常状态信息119，在其下方显示状态信息118的信息。状态信息118显示异常发生的时间点的最新的10秒的信息。状态信息118从上起依次按照最新的信息(时间点1)、下一个新的信息(时间点2)
……
的顺序、即随着向下而每隔1s显示旧的信息。图10仅将10个状态信息118中的4个状态信息118显示于异常一览部155。控制器100基于异常一览部155的下方的滚动按钮159被操作，来显示未被显示的状态信息118(5s以前)。
68.另外，mg1(fr)以后的项目(列)表示作为异常状态信息119及状态信息118而存储的信息。mg1(fr)是由气体供给部15b的质量流量控制器112检测与作为反应气体(种子气体)的氧(o2)混合的氮(n2)的流量而得到的值。mg2(fr)是由质量流量控制器112检测作为反应气体(种子气体)的氧(o2)的流量而得到的值。s1(fr)是检测向一对载气流路63(气体供给管19)中的一个载气流路63供给的载气(氮(n2))的流量而得到的值，s2(fr)是检测向一对载气流路63中的另一个载气流路63供给的载气(氮(n2))的流量而得到的值。h(fr)是检测作为加热气体而使用的加热用气体(空气)的流量而得到的值。
69.控制器100除了上述的信息之外，还将例如由热电偶92检测出的加热器43的加热温度作为异常状态信息119及状态信息118进行存储。相同地，控制器100存储由温度传感器114检测出的等离子体气体的温度。另外，控制器100存储产生等离子体气体的模拟电弧a熄灭(断开)的电流缺失次数。控制器100例如当在从电源部15a流向电极33的电流值(由电流传感器111检测出的电流值)成为预定的值以上，产生了模拟电弧a之后，电流值成为预定的判定值以下时，判断为模拟电弧a熄灭，将电流缺失次数增加1。控制器100例如在每次开始等离子体气体产生控制时，将电流缺失次数重置，重新测量电流缺失次数，作为状态信息118和异常状态信息119进行存储。另外，控制器100也可以不对每个等离子体产生控制使电
流缺失次数重置，而使其累积来进行测量。
70.另外，控制器100将混合后的反应气体(氮+氧)的压力、载气(每个气体供给管19)的压力、加热用气体的压力作为状态信息118、异常状态信息119而进行存储。控制器100能够通过压力传感器113检测这些压力。
71.另外，控制器100存储由漏电检测装置110检测出的漏电电流的电流值。例如，从电力电缆16的屏蔽部件向接地流动的漏电电流通过用于产生等离子体的电力供给时的电磁感应等而流动，即，在电力电缆16未产生断线等的正常的电力供给中流过一定的电流值。因此，控制器100也可以存储作为正常的电力供给时的基准的基准值、从该基准值起具有一定的幅度的上限值及下限值。该上限值及下限值是用于判定漏电异常的值。另外，上述的时间点、mg1(fr)到上限值、下限值的17个项目名是一例，能够根据等离子体装置10的结构适当变更。
72.因此，如图10所示，本实施方式的控制器100基于对于操作部15c的操作输入(代表异常一览147的触摸操作)，将检测到代表异常时的异常状态信息119及状态信息118汇总为行列而显示于操作部15c。由此，使用者通过操作操作部15c，能够汇总显示代表异常的异常状态信息119和状态信息118并进行确认。能够将异常时的异常状态信息119和状态信息118按照时间序列顺序进行比较而容易地进行有无异常的值等状态的确认。
73.如图10所示，控制器100在显示画面153显示异常一览部155的状态下，当对异常一览部155的下方的装置信息按钮161进行了触摸操作时，将图11所示的显示画面163显示于操作部15c。作为显示画面163的项目栏143，控制器100显示在图9的显示画面141中选择的代表异常的时间信息。
74.另外，控制器100在显示画面163中显示设定信息120及工作时间信息121。如图11所示，控制器100例如将控制器100的cpu执行的程序(用于等离子体产生控制的控制程序)版本(控制版本)、操作系统的版本(系统版本)作为设定信息120进行存储，并显示于显示画面163。相同地，控制器100将用于判定喷嘴35的拆装引起的气体压力(反应气体的压力等)的变化的阈值即气体压力(kpa)、等离子体气体的目标压力(等离子体压力)、用于判定加热器43的预热的完成的预热完成压力等作为设定信息120而进行存储并显示。这些用于判定的阈值、目标压力能够由使用者变更，另一方面，在判断异常的原因方面成为重要的信息。因此，控制器100将异常时的阈值等作为设定信息120进行存储，并显示于显示画面163。
75.另外，控制器100例如将等离子体头11、电极33、喷嘴35、控制箱15的工作时间作为工作时间信息121进行存储，并显示于显示画面163。因此，作为工作时间信息121，能够采用作为存储等离子体装置10自身的工作时间、等离子体装置10所具备的各设备的工作时间等与等离子体装置10相关的各种工作时间的信息。控制器100持续测量各设备等的工作时间，若检测到异常，则将到此为止的工作时间作为工作时间信息121存储于存储装置116。控制器100将工作时间信息121与异常状态信息119等建立关联地进行存储，然后显示于显示画面163。另外，如图11所示，控制器100也可以将通知等离子体头11的定期的清扫的通知时间的剩余时间作为工作时间信息121进行显示。
76.另外，图11所示的设定信息120及工作时间信息121是一例。控制器100例如也可以存储并显示表示喷嘴35的种类的信息、载气等的设定流量、加热器43的加热温度的设定值等。控制器100在每次触摸操作显示于显示画面163的下部的ok按钮165时，显示未完全显示
于显示画面163的设定信息120及工作时间信息121。
77.因此，本实施方式的控制器100将与等离子体装置10的设定相关的设定信息120且检测到代表异常时的设定信息120和检测到代表异常时的工作时间信息121进行存储。控制器100基于装置信息按钮161对操作部15c的触摸操作，将设定信息120及工作时间信息121显示于操作部15c。由此，使用者通过操作操作部15c，能够确认检测到代表异常时的设定信息120、工作时间信息121。能够容易地汇总并确认异常时的装置的状态。
78.并且，控制器100例如显示图12所示的显示画面167作为每次触摸操作ok按钮165时切换的最终画面。在图11及图12所示的例子中，控制器100例如在每次触摸操作了ok按钮165时，将显示画面上的数字依次增加1/3、2/3、3/3，以3/3显示显示画面167。控制器100将异常一览169显示于显示画面167。控制器100例如将在图9的代表异常一览147中选择的代表异常显示于异常一览169的最上面(发生警报的项目下)，在代表异常的下方依次显示与该代表异常同时检测到的其他异常的种类(图12的低电流异常、main(gs1)流量异常等)。另外，在无法将同时检测到的异常种类全部在异常一览169中显示的情况下，控制器100根据对显示于异常一览169的右侧的滚动按钮171的触摸操作，显示无法显示的其他异常的种类。在对显示画面167的ok按钮165进行触摸操作时，控制器100例如显示图9所示的显示画面141。
79.因此，本实施方式的控制器100基于对于操作部15c的ok按钮165的触摸操作，将同时发生的多种异常汇总并显示于操作部15c。由此，使用者通过操作操作部15c，能够通过一个显示内容确认除了代表异常以外同时发生了何种种类的异常。在同时发生了多个异常的情况下，能够通过画面显示容易地确认所有种类的异常。另外，如图9～图12所示，使用者通过操作操作部15c，能够按顺序确认与自身选择的代表异常相关的信息，能够通过简单的操作确认与异常相关的所有信息。换言之，本实施方式的等离子体装置10能够统一管理并显示与异常相关的各种信息。
80.另外，上述图9～图12所示的显示形式是一例。例如，控制器100也可以将图10所示的异常状态信息119、状态信息118的值以时间轴为横轴通过图表来显示。
81.另外，操作部15c是显示装置、受理装置的一例。控制器100是控制装置、异常检测装置的一例。电源部15a、气体供给部15b、漏电检测装置110、电流传感器111、质量流量控制器112、压力传感器113、温度传感器114及热电偶92是异常检测装置的一例。
82.以上，根据说明的实施方式，起到以下的效果。
83.在本实施例的一个方式中，控制器100每隔预定时间存储与等离子体装置10的状态相关的状态信息118，除了状态信息118以外，还存储检测到异常时的异常状态信息119。由此，除了每隔预定时间存储了与装置的状态相关的状态信息118的信息以外，还能够存储检测到异常时的装置的异常状态信息119。由此，能够通过异常状态信息119掌握异常时的状态，能够通过状态信息118掌握异常前的状态。因此，能够更准确地判断异常发生时的装置的状态。另外，如图8所示，控制器100也可以存储异常的前后的状态信息118或异常后的状态信息118。
84.另外，本公开的内容不限定于上述实施方式，能够在不脱离本公开的主旨的范围内进行各种改良、变更，这是不言而喻的。
85.例如，控制器100也可以不将状态信息118、异常状态信息119、设定信息120、工作
时间信息121建立关联地进行存储。在该情况下，使用者能够操作操作部15c而单独地确认存储于存储装置116的不同的信息。
86.另外，操作部15c具备具有显示装置和受理装置这两个功能的触摸面板，但也可以分别具备显示装置和受理装置。
87.另外，上述实施方式中的由气体供给管19供给的处理气体的种类是一例。例如，作为处理气体，也可以使用除了氧、氮以外的气体。
88.附图标记说明
89.10等离子体装置，15a电源部(异常检测装置)，15b气体供给部(异常检测装置)，15c操作部(显示装置，受理装置)，100控制器(控制装置，异常检测装置)，110漏电检测装置(异常检测装置)，111电流传感器(异常检测装置)，112质量流量控制器(异常检测装置)，113压力传感器(异常检测装置)，114温度传感器(异常检测装置)。