技术特征：
1.一种等离子体装置，具备：异常检测装置，检测异常；及控制装置，每隔预定时间存储与等离子体装置的状态相关的状态信息，并存储由所述异常检测装置检测到异常时的与所述等离子体装置的状态相关的异常状态信息。2.根据权利要求1所述的等离子体装置，其中，所述控制装置基于由所述异常检测装置检测到异常的情况而将所述状态信息与所述异常状态信息建立关联地存储，并存储从由所述异常检测装置检测到异常的时间点起直至一定时间之前的期间中包含的所述状态信息。3.根据权利要求1或2所述的等离子体装置，其中，所述控制装置将与所述等离子体装置的设定相关的设定信息且由所述异常检测装置检测到异常时的所述设定信息与所述异常状态信息建立关联地存储。4.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子体装置，其中，所述等离子体装置具备显示装置，在由所述异常检测装置同时检测到多种异常的情况下，所述控制装置选择所述多种异常中的一种异常作为代表异常而显示于所述显示装置。5.根据权利要求4所述的等离子体装置，其中，所述等离子体装置具备受理来自使用者的操作输入的受理装置，所述控制装置基于对于所述受理装置的操作输入，而将检测到所述代表异常时的所述异常状态信息及所述状态信息一并显示于所述显示装置。6.根据权利要求4或5所述的等离子体装置，其中，所述等离子体装置具备受理来自使用者的操作输入的受理装置，所述控制装置存储与所述等离子体装置的设定相关的设定信息且由所述异常检测装置检测到所述代表异常时的所述设定信息及由所述异常检测装置检测到所述代表异常时的与所述等离子体装置相关的工作时间，所述控制装置基于对于所述受理装置的操作输入而将所述设定信息及所述工作时间显示于所述显示装置。7.根据权利要求4至6中任一项所述的等离子体装置，其中，所述等离子体装置具备受理来自使用者的操作输入的受理装置，所述控制装置基于对于所述受理装置的操作输入而将同时检测到的所述多种异常一并显示于所述显示装置。
技术总结
本发明提供能够更准确地判断异常发生时的装置的状态的等离子体装置。本公开的等离子体装置具备：异常检测装置，检测异常；及控制装置，每隔预定时间存储与等离子体装置的状态相关的状态信息，并存储由异常检测装置检测到异常时的与等离子体装置的状态相关的异常状态信息。信息。信息。
技术研发人员：泷川慎二 岩田卓也 日下航 柳原一辉
受保护的技术使用者：株式会社富士
技术研发日：2019.12.24
技术公布日：2022/7/28