技术编号:30976439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于真空镀膜技术领域,特别涉及一种多层膜系的各层膜厚快速独立检测系统及其检测方法。背景技术.汽车行业、手机行业、玻璃镀膜行业等的产品有在透明基材上镀膜的需要,尤其是有特殊功能需求的光学薄膜,以往生产设备基本是以单体机镀膜为主,对产品的最大尺寸、产量等有比较大的影响。.市场发展的需求产量大、成本低的生产方式,其趋势逐渐倾向于有规模产量化优势的连续镀膜生产线的生产方式。生产薄膜的良好品质通常需求多层薄膜的镀膜,因此,每层膜的稳定品质控制就成了重点,尤其是精准的膜层厚度,膜层数量越多,难...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。