技术编号：31050590
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及定位平台技术领域，特别是涉及一种定位平台和定位系统。背景技术.高精密定位平台因其高刚性、高精度、高分辨率、高动态响应等优点，广泛应用于半导体、光学、生物检测、医疗设备等高端领域。.现有的高精密定位平台大多由直线电机驱动，一般通过机械弹簧进行配重来平衡负载重力，避免断电或故障状态下掉落造成设备损坏。然而，传统的定位平台在负载变化后，悬停位置会偏高或偏低，无法实现精准悬停。发明内容.基于此，有必要针对现有技术中定位平台在负载变化后，悬停位置会偏高或偏低，无法实现精准悬停的技术问题...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。