技术编号:31053767
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种制造在半导体、液晶等电子产业领域中使用的超纯水的超纯水制造装置的控制方法。尤其涉及一种能够根据子系统的使用量来制造一次纯水的超纯水制造装置的控制方法。背景技术.以往,用于半导体等电子产业领域的超纯水通过由超纯水制造装置进行原水的处理而制造,该超纯水制造装置由预处理系统、一次纯水装置、以及处理一次纯水的子系统构成。.例如,如图所示,超纯水制造装置由预处理装置、一次纯水制造装置、以及二次纯水制造装置(子系统)这级装置构成。在这样的超纯水制造装置的预处理装置中,实...
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