技术编号:31085072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及显示领域,具体涉及一种显示面板及其制作方法。背景技术.目前,显示面板用以阻隔水/氧入侵的无机薄膜通常采用等离子体增强化学气相沉积(pecvd,plasma enhanced chemical vapor deposition)或原子层沉积(ald,atomic layer deposition)等方式制备,等离子体增强化学气相沉积方式由于成膜方式的限制对显示面板中的台阶结构覆盖能力较差,因此,采用原子层沉积方式与等离子体增强化学气相沉积方式等多种沉积方式相搭配以提高无机薄膜的阻隔...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。