技术编号:3121440
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是为了利用玻璃片由于透光特性,捕捉到激光的刻划图案,用于相机图案的校正,直观的观测补偿的效果。可以通过以下技术方案来实现1)利用全屏幕的尺寸,以晶圆的晶格为基础,辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像,可以得到相机与激光的系统偏差;2)校正玻璃版,有五个“十字”窗,宽度2mm,长度10mm,定面贴黑色即时贴;3)“十字”薄膜可视化检查,用于目测系统校正的结果;4)该对中系统的校正方法,其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案,借此设定对位...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。