一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置制造方法
【专利摘要】本发明是为了利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，用于相机图案的校正，直观的观测补偿的效果。可以通过以下技术方案来实现：1)利用全屏幕的尺寸，以晶圆的晶格为基础，辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像，可以得到相机与激光的系统偏差；2)校正玻璃版，有五个“十字”窗，宽度2mm，长度10mm，定面贴黑色即时贴；3)“十字”薄膜：可视化检查，用于目测系统校正的结果；4)该对中系统的校正方法，其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案，借此设定对位相机的零位补偿。该发明具有成本低，使用便捷，精度高，可直接弥补相机和激光安装缺陷，提高应用精度。
【专利说明】一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光背刻技术的校正方法和装置，尤其是涉及一种基于CXD影像技术定位检测方法的校正，用于高精度相机和激光分装物体两边的校正方法和装置。
【背景技术】
[0002]激光作为一种新工业加工技术，在计算机控制下可以在各种材料表面标刻图案和文字，本专利组合工业相机的捕捉产品的图案，利用激光在玻璃片图案，辅助以低光源给检测图像的相机，校正相机参数位置，为激光背刻图案提供高精度的定位。
[0003]由于相机和激光分布产品的两侧，通常技术无法检测相机与激光的零位基准的校正，包括在后续的生产中，激光的漂移，或相机捕捉图像的计算误差，等诸多因素造成激光刻划的偏离，均无法得到检测和及时的校正。
[0004]激光刻划标志可以控制在线宽十几个微米之内，其重复性达到几个微米，并可在电脑控制下，接受外部软件指令，调整标刻图案的位置和角度。
[0005]CXD工业相机可以捕捉微米级分辨率的图像，并计算出图像间的微米级的位置偏差，为高精度的应用奠定了理论和硬件基础。
[0006]C⑶相机安装在晶圆的正面图像，而激光则安装在晶圆背面，由于机加工误差和安装误差，相机和激光的零位基准不可能合一。
【发明内容】
[0007]本发明的目的就是为了利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，用于相机图案的校正。同时利用电脑屏幕的尺寸，直观的观测补偿的效果。
[0008]本发明的目的可以通过以下技术方案来实现:
1，利用全屏幕的尺寸，以晶圆的晶格为基础，辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像，利用激光在校正玻璃版刻画背刻“十字”，自动校正系统偏差，同时，可以目测相机电脑屏幕，检查两个“十字”的重合情况。多次检查和测量两“十字”的偏差，可以得到相机与激光的系统偏差。
[0009]2，校正玻璃版；有五个“十字”窗，宽度2毫米，“十字”长度10毫米，定面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置。手工在底面45度涂满单层黑色。
[0010]3，“十字”薄膜:可视化检查，用于目测系统校正的结果。
[0011]4，一种基于玻璃片与激光及电脑和对位相机组合的背刻对中系统的校正方法，其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案，借此设定对位相机的零位补偿。
[0012]该发明具有以下特点:
1，成本低，使用便捷，精度高，可直接弥补相机和激光安装缺陷，提高应用精度。
[0013]2，可多次反复使用，对于补偿结果可以直观的了解。
[0014]
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本发明的高精度晶圆背刻的校正测量方法结构示意图。
[0016]
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和具体实施对本发明进行详细说明。
[0018]实施如图一所示，高精度晶圆背刻对中系统的校正测量方法结构示意图，该结构包括:1，激光；2，激光保护板和低光；3，五位对中台；4，校正玻璃板，手工在底面45度涂满单层黑色；5 “十字”薄膜-可视化检查，用于目测系统校正的结果；6，相机保护板机构；7,对位相机和电脑准备过程中，五位对中台打开待晶圆；相机保护板关闭相机；激光保护板关闭。
[0019]〈上晶圆〉按钮:ROBOT送晶圆到翘曲检查台，通过后取晶圆到对中台。对中台压下。激光保护板打开，相机保护板打开，相机取像。给出沟槽计算结果线条。
[0020]1.“十字”薄膜定位沟槽或图像线条。
[0021]2.〈送校正参数〉按钮:相机送数据给激光，刻画并保存。
[0022]3.<上玻璃板 > 按钮:对中台打开，ROBOT取晶圆回料盒。激光保护板关闭，相机保护板关闭。ROBOT在玻璃板位置取玻璃板上对中台。
[0023]4.〈刻玻璃板〉按钮:激光保护板打开，激光刻同组图案在玻璃板。激光保护板关闭，开底光，相机保护板开启，相机检查校正图案，将偏差值加入计算。
[0024]5.移动五位对中台，循环2IT4#步骤，使用第二个标刻位，检测校正结果。
【权利要求】
1.一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置，本发明的特征利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，利用对位相机组合的背刻对中系统的校正方法。
2.其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案，可设定对位相机的零位补偿，用于激光图案的校正。
3.同时利用电脑屏幕的尺寸，直观的观测补偿的效果。
4.本发明的可以通过以下步骤来实现: 利用全屏幕的尺寸，以晶圆的晶格为基础，辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像 利用激光在校正玻璃版刻画背刻“十字”，C⑶相机捕捉图像，计算图像偏差值，通过电脑输送数据给激光控制软件，自动校正激光图像与相机安装的系统偏差。
5.多次激光标刻和相机检查和测量两“十字”的偏差，可以校正和得到相机与激光的系统偏差。
6.校正玻璃版；正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置。
7.手工在底面45度涂满单层黑色。
8.“十字”薄膜:可视化检查，用于目测系统校正的结果。
9.目测相机电脑屏幕，检查两个“十字”的重合情况。
【文档编号】B23K26/362GK104259655SQ201410401263
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年8月14日 优先权日:2014年6月12日
【发明者】卢冬青 申请人:上海功源自动化技术有限公司