技术编号：31523649
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种划片机dd马达固定机构技术领域.本申请涉及划片机领域，具体为一种划片机dd马达固定机构。背景技术.划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备，主要用于半导体晶圆、集成电路、qfn、发光二极管、led芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。目前，现有dd马达一般直接安装于纵向（y轴方向）驱动机构的驱动平台上，然而，直接安装于驱动平台对于驱动平台本身来说却有很高的要求，难以...
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