技术编号:31607750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体制造技术领域,具体地说,本申请涉及一种集成电路测试设备及其测试方法。背景技术.随着半导体集成电路(ic,integrated circuit)的高速发展,集成电路芯片的集成度越来越高,集成电路芯片的功能越来越复杂。通常为了保证集成电路芯片在使用中能够正常运行,需在集成电路芯片制造之后,通过集成电路测试设备如,集成电路自动测试机(ate,automatic test equipment)对集成电路芯片进行时序、电性等方面的测试。.然而,由于集成电路测试设备的使用局限性,使得...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。