技术编号:3162294
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶圆研磨定位环,尤指一种定位环下缘设有若干个废物槽的晶圆研磨定位环。参见附图说明图1-3、分别为台湾专利第90219987号的立体图、反面示意图及另一废物槽的局部示意图。本案的晶圆研磨定位环的环体2下缘设有若干条废物槽7,是利用环体2旋转时的离心力摔出研磨所产生的废物;该废物槽7贯穿于环体2外周缘9与内周缘8之间,向旋转离心力作用线方向倾斜,与作用线方向越一致效果越佳(如图3所示),并且以等距离设置为更佳。参见图4、为台湾专利第9021998...
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