技术编号:3168016
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,对具有基板和设置在该基板上的膜面的被处理基板中的、膜面的边缘部照射激光来进行处理。背景技术以往,已知一种基板处理装置,对具有基板和设置在该基板上的膜面的被处理基板中的、膜面照射激光,该基板处理装置具备照射激光的激光照射装置;载台,在将膜面定位在下方的状态下仅支持被处理基板的周缘部;以及保持机构,从下方对被放置在该载台上的被处理基板的膜面进行支持,将被处理基板保持为平坦的状态;保持机构具有多个销形状的基板支持部(参照日本特开2001-111078...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。