技术编号：31723220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及甲乙硅烷混合气体的纯化和分离技术，特别涉及一种甲硅烷和乙硅烷混合气的纯化分离系统。背景技术.甲、乙硅烷是目前半导体集成电路、光伏、光纤应用最为广泛的硅烷类电子气体产品。乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造，以及在晶硅薄膜太阳能电池生产中有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的甲硅烷比，乙硅烷的优点包括沉积速度快、沉积温度要求低，其附加值更高。.传统的甲、乙硅烷生产纯化工艺中采用精馏和冷凝的方法对气体组分进行分离，而在间歇性生产及试验中，单批次反应产气量小，导致精馏稳定...
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