技术编号：31725821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于叠层衍射成像领域，更具体地，涉及基于角度自校准的反射式叠层衍射成像方法、装置和系统。背景技术.叠层衍射成像是一种无需透镜的计算成像技术，其利用实空间的重叠扫描与频空间的衍射光强作为约束，利用叠层衍射算法迭代重构出样品的幅值与相位信息，在x射线和电子束高分辨成像领域产生了较大的影响。相比于传统的透射式叠层衍射成像系统，反射式光路系统可以适用于不透明反射式样品，在极紫外波段具有应用前景。.反射式叠层衍射成像系统原理与透射式系统基本相同，但在反射式光路中，样品与光轴倾斜放置，平行平面...
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