技术编号：31800304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。pvd镀腔内壁构件用涂层组合物、pvd镀腔内壁构件及其制备方法和清洗方法技术领域.本发明涉及pvd镀膜技术领域，更具体地，涉及一种pvd镀腔内壁构件用涂层组合物、pvd镀腔内壁构件及其制备方法和清洗方法。背景技术.在pvd真空镀膜设备中，镀腔内壁构件的表面在镀膜过程中也被沉积镀层金属的杂质层，一方面，杂质层随着镀膜时间的累积越来越厚，易脱落，污染镀件，另一方面，杂质层不易去除，现有技术主要采用物理和化学途径去除杂质层，首先通过物理方式敲打、剐蹭，随后通过化学方式(例如硝酸)将杂质层反应掉，待...
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