技术编号:31950099
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及一种原料供给系统。背景技术.已知如下一种技术:在将固体原料溶解于溶剂并向处理室内以雾状的形式进行喷射之后,对处理室内进行加热来去除溶剂而使固体原料残留,接着,对处理室内进行加热来使固体原料升华,由此生成对应的气体(例如参照专利文献)。.现有技术文献.专利文献.专利文献:日本特开-号公报发明内容.发明要解决的问题.本公开提供一种能够对贮存于贮存部的溶液或分散系的量进行管理的技术。.用于解决问题的方案.本公开的一个方式的原料供给系统具有:第一贮存...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。