原料供给系统的制作方法

1.本公开涉及一种原料供给系统。


背景技术：

2.已知如下一种技术：在将固体原料溶解于溶剂并向处理室内以雾状的形式进行喷射之后，对处理室内进行加热来去除溶剂而使固体原料残留，接着，对处理室内进行加热来使固体原料升华，由此生成对应的气体(例如参照专利文献1)。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2004-115831号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.本公开提供一种能够对贮存于贮存部的溶液或分散系的量进行管理的技术。
8.用于解决问题的方案
9.本公开的一个方式的原料供给系统具有：第一贮存部，其用于贮存将第一固体原料溶解于溶剂所得到的溶液或者将第一固体原料分散于溶剂所得到的分散系；第二贮存部，其用于贮存从所述第一贮存部输送的所述溶液或所述分散系；探测部，其探测贮存于所述第一贮存部贮存的所述溶液或所述分散系的量；以及加热部，其对通过从贮存于所述第二贮存部的所述溶液或所述分散系中去除所述溶剂而形成的第二固体原料进行加热。
10.发明的效果
11.根据本公开，能够对贮存于贮存部的溶液或分散系的量进行管理。
附图说明
12.图1是示出第一实施方式的原料供给系统的图。
13.图2是用于说明第一实施方式的原料供给系统的动作的图(1)。
14.图3是用于说明第一实施方式的原料供给系统的动作的图(2)。
15.图4是用于说明第一实施方式的原料供给系统的动作的图(3)。
16.图5是用于说明第一实施方式的原料供给系统的动作的图(4)。
17.图6是示出第二实施方式的原料供给系统的图。
18.图7是示出第三实施方式的原料供给系统的图。
具体实施方式
19.下面，参照附图来说明本公开的非限定性的例示的实施方式。在所有附图中，对相同或对应的构件或部件标注相同或对应的参照附图标记，并且省略重复的说明。
20.〔第一实施方式〕
21.(原料供给系统)
22.参照图1来说明第一实施方式的原料供给系统。图1是示出第一实施方式的原料供给系统的图。
23.原料供给系统1是如下的系统：使通过从将第一固体原料溶解于溶剂所得到的溶液(以下也简称为“溶液”。)中去除溶剂而形成的第二固体原料升华来生成反应性气体，使用所生成的反应性气体，通过处理装置来进行成膜。
24.关于第一固体原料并无特别限定，例如可以是含有锶(sr)、钼(mo)、钌(ru)、锆(zr)、铪(hf)、钨(w)、铝(al)等金属元素的有机金属络合物、含有钨(w)、铝(al)等金属元素的氯化物。溶剂只要能够将第一固体原料溶解或分散来生成溶液即可，例如可以是己烷。
25.原料供给系统1具备原料供给源10、缓冲装置20、原料供给装置30、40、处理装置50以及控制装置90。
26.原料供给源10向缓冲装置20供给溶液m1。在本实施方式中，原料供给源10包括罐11和浮子传感器12。在罐11中填充有溶液m1。浮子传感器12探测罐11内填充的溶液m1的量。
27.从罐11的上方向原料供给源10插入有配管l1的一端。配管l1的另一端与载气的供给源g1连接，从供给源g1经由配管l1向罐11内供给载气。关于载气并无特别限定，例如可以是氮气(n2)、氩气(ar)等非活性气体。在配管l1中设置有阀v1。当打开阀v1时，从供给源g1向原料供给源10供给载气，当关闭阀v1时，从供给源g1向原料供给源10的载气的供给被切断。另外，也可以在配管l1中设置有用于控制流过配管l1的载气的流量的流量控制器(未图示)、追加的阀等。
28.另外，从罐11的上方向原料供给源10插入有配管l2的一端。配管l2的另一端与缓冲装置20连接。当从供给源g1向罐11内供给载气时，罐11内被加压，罐11内的溶液m1经由配管l2供给到缓冲装置20。在配管l2中，从靠原料供给源10的一侧起依次设置有阀v2a、v2b。当打开阀v2a、v2b时，从原料供给源10向缓冲装置20供给溶液m1，当关闭阀v2a、v2b时，从原料供给源10向缓冲装置20的溶液m1的供给被切断。另外，也可以在配管l2中设置有用于控制流过配管l2的溶液m1的流量的流量控制器(未图示)、追加的阀等。
29.另外，在配管l2的比阀v2b更靠缓冲装置20的一侧连接有配管l3的一端。配管l3的另一端与载气的供给源g3连接，从供给源g3经由配管l3、l2向缓冲装置20供给载气。关于载气并无特别限定，例如可以是n2、ar等非活性气体。在配管l3中设置有阀v3。当打开阀v3时，从供给源g3向缓冲装置20供给载气，当关闭阀v3时，从供给源g3向缓冲装置20的载气的供给被切断。另外，也可以在配管l3中设置有用于控制流过配管l3的载气的流量的流量控制器(未图示)、追加的阀等。
30.缓冲装置20贮存从原料供给源10输送的溶液m1。在本实施方式中，缓冲装置20包括容器21和浮子传感器22。但是，缓冲装置20还可以包括用于对容器21进行加热的加热器等加热部(未图示)。容器21暂时贮存从原料供给源10输送的溶液m1。浮子传感器22探测贮存于容器21的溶液m1的量。但是，也可以不使用浮子传感器22，通过设置负荷式、温度探测式等其它方式的液位传感器来探测贮存于容器21的溶液m1的量。
31.缓冲装置20经由配管l4、l5而与原料供给装置30连接，经由配管l4、l5向原料供给装置30供给溶液m1。在配管l4、l5中分别设置有阀v4、v5。当打开阀v4、v5时，从缓冲装置20向原料供给装置30供给溶液m1，当关闭阀v4、v5时，从缓冲装置20向原料供给装置30的溶液
m1的供给被切断。另外，也可以在配管l5中设置有用于控制流过配管l5的溶液m1的流量的流量控制器(未图示)、追加的阀等。
32.另外，缓冲装置20经由配管l4、l6而与原料供给装置40连接，经由配管l4、l6向原料供给装置40供给溶液m1。在配管l6中设置有阀v6。当打开阀v4、v6时，从缓冲装置20向原料供给装置40供给溶液m1，当关闭阀v4、v6时，从缓冲装置20向原料供给装置40的溶液m1的供给被切断。另外，也可以在配管l6中设置用于控制流过配管l6的溶液m1的流量的流量控制器(未图示)、追加的阀等。
33.原料供给装置30贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。在本实施方式中，原料供给装置30包括容器31、加热部32以及压力计33。容器31贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。加热部32对通过从溶液m1中去除溶剂而形成的固体原料(以下称为“第二固体原料m2”。)进行加热，由此使第二固体原料m2升华来生成反应性气体。加热部32例如可以是以覆盖容器31的底部及外周的方式配置的加热器。加热部32构成为能够将容器31内加热到能够使第二固体原料升华来生成反应性气体的温度。压力计33检测容器31的内压。检测出的容器31的内压被发送到控制装置90，控制装置90基于该内压来对各种阀的开闭进行控制。例如，在该内压变得高于规定的压力的情况下，控制装置90通过关闭阀v5来使不向容器31供给过剩的溶液m1。
34.从容器31的上方向原料供给装置30插入有配管l8的一端。配管l8的另一端经由配管l7而与载气的供给源g7连接，从供给源g7经由配管l7、l8向容器31内供给载气。关于载气并无特别限定，例如可以是n2、ar等非活性气体。在配管l8中，从靠供给源g7的一侧起依次设置有阀v8a、v8b。当打开阀v8a、v8b时，从供给源g7向原料供给装置30供给载气，当关闭阀v8a、v8b时，从供给源g7向原料供给装置30的载气的供给被切断。在配管l7中设置有用于控制流过配管l7的载气的流量的流量控制器f7。在本实施方式中，流量控制器f7是质量流量控制器(mfc)。
35.原料供给装置30经由配管l10、l12而与处理装置50连接，经由配管l10、l12向处理装置50供给反应性气体。在配管l10中，从靠原料供给装置30的一侧起依次设置有阀v10a～v10c。当打开阀v10a～v10c时，从原料供给装置30向处理装置50供给反应性气体，当关闭阀v10a～v10c时，从原料供给装置30向处理装置50的反应性气体的供给被切断。
36.在配管l10的阀v10a与阀v10b之间连接有配管l13的一端。配管l13的另一端连接于配管l8的阀v8a与阀v8b之间。配管l13作为不经由原料供给装置30地与配管l8及配管l10连接的旁通配管发挥功能。在配管l13中设置有阀v13。当打开阀v13时，配管l8与配管l10连通，当关闭阀v13时，配管l8与配管l10的连通被切断。
37.在配管l10的阀v10b与阀v10c之间连接有配管l14的一端。配管l14的另一端例如与真空泵等排气装置(未图示)连接。在配管l14中设置有阀v14。当在阀v10a、v10b打开了的状态下打开阀v14时，容器31内被排气，能够从贮存于容器31内的溶液m1中去除溶剂。当关闭阀v14时，能够停止从贮存于容器31内的溶液m1中去除溶剂。
38.原料供给装置40贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。原料供给装置40与原料供给装置30并列设置。在本实施方式中，原料供给装置40包括容器41、加热部42以及压力计43。容器41贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。加热部42对通过从溶液m1中去除溶剂而形成的第二固体原料m2进行加热，由此使第二固体原料m2升华来生成反应性气体。加热部42例如可以
是以覆盖容器41的底部及外周的方式设置的加热器。加热部42构成为能够将容器41内加热到能够使第二固体原料m2升华来生成反应性气体的温度。压力计43检测容器41的内压。检测出的容器41的内压被发送到控制装置90，控制装置90基于该内压来对各种阀的开闭进行控制。例如，在该内压变得高于规定的压力的情况下，控制装置90通过关闭阀v6来使不向容器41供给过剩的溶液m1。
39.从容器41的上方向原料供给装置40插入有配管l9的一端。配管l9的另一端经由配管l7而与载气的供给源g7连接，从供给源g7经由配管l7、l9向容器41内供给载气。关于载气并无特别限定，例如可以是n2、ar等非活性气体。在配管l9中，从靠供给源g7的一侧起依次设置有阀v9a、v9b。当打开阀v9a、v9b时，从供给源g7向原料供给装置40供给载气，当关闭阀v9a、v9b时，从供给源g7向原料供给装置40的载气的供给被切断。
40.原料供给装置40经由配管l11、l12而与处理装置50连接，经由配管l11、l12向处理装置50供给反应性气体。在配管l11中设置有阀v11a～v11c。当打开阀v11a～v11c时，从原料供给装置40向处理装置50供给反应性气体，当关闭阀v11a～v11c时，从原料供给装置40向处理装置50的反应性气体的供给被切断。
41.在配管l11的阀v11a与阀v11b之间连接有配管l15的一端。配管l15的另一端连接于配管l9的阀v9a与阀v9b之间。配管l15作为不经由原料供给装置40地与配管l9及配管l11连接的旁通配管发挥功能。在配管l15中设置有阀v15。当打开阀v15时，配管l9与配管l11连通，当关闭阀v15时，配管l9与配管l11的连通被切断。
42.在配管l11的阀v11b与阀v11c之间连接有配管l16的一端。配管l16的另一端例如与真空泵等排气装置(未图示)连接。在配管l16中设置有阀v16。当在阀v11a、v11b打开了的状态下打开阀v16时，容器41内被排气，能够从贮存于容器41内的溶液m1中去除溶剂。当关闭阀v16时，能够停止从贮存于容器41内的溶液m1中去除溶剂。
43.处理装置50经由配管l10、l12而与原料供给装置30连接，向处理装置50供给通过在原料供给装置30中使第二固体原料m2受热升华而生成的反应性气体。另外，处理装置50经由配管l11、l12而与原料供给装置40连接，向处理装置50供给通过在原料供给装置40中使第二固体原料m2受热升华而生成的反应性气体。
44.处理装置50使用从原料供给装置30、40供给的反应性气体对半导体晶圆等基板执行成膜处理等各种处理。在本实施方式中，处理装置50包括处理容器51、流量计52以及阀v12。处理容器51收容一个或多个基板。在本实施方式中，流量计52是质量流量仪(mfm)。流量计52设置于配管l12，用于测定流过配管l12的反应性气体的流量。阀v12设置于配管l12。当打开阀v13时，从原料供给装置30、40向处理容器51供给反应性气体，当关闭阀v13时，从原料供给装置30、40向处理容器51的反应性气体的供给被切断。
45.控制装置90控制原料供给系统1的各部。例如，控制装置90控制原料供给源10、缓冲装置20、原料供给装置30、40、处理装置50等的动作。另外，控制装置90对各种阀的开闭进行控制。控制装置90例如可以是计算机。
46.(原料供给系统的动作)
47.参照图2～图5来说明原料供给系统1的动作(原料供给方法)的一例。在原料供给系统1中，通过控制装置90控制各种阀的开闭，由此利用并列设置的两个原料供给装置30、40中的一方进行反应性气体的向处理装置50的供给，在另一方中填充固体原料。下面，具体
说明原料供给系统1的动作的一例。
48.首先，参照图2和图3来说明利用原料供给装置30进行的反应性气体的向处理装置50的供给并在原料供给装置40中填充固体原料的情况。图2和图3是用于说明原料供给系统1的动作的图。在图2和图3中，用粗实线表示流通有载气、溶液m1以及反应性气体的配管，用细实线表示未流通载气、溶液m1以及反应性气体的配管。另外，在图2和图3中，用空白的符号表示阀打开的状态，用涂黑的符号表示阀关闭的状态。此外，将原料供给系统1设为在初始状态下如图1所示那样所有阀都关闭并且在原料供给装置30中贮存有第二固体原料m2来进行说明。
49.控制装置90控制原料供给装置30的加热部32，通过使容器31内的第二固体原料m2受热升华来生成反应性气体。另外，控制装置90打开阀v8a、v8b、v10a～v10c、v12。由此，从供给源g7经由配管l7、l8向原料供给装置30的容器31内注入载气，载气与在容器31内生成的反应性气体一起经由配管l10、l12被供给到处理装置50。
50.另外，控制装置90如图2所示那样打开阀v1、v2a、v2b。由此，从供给源g1向原料供给源10供给载气，从原料供给源10经由配管l2向缓冲装置20输送溶液m1，溶液m1贮存于缓冲装置20的容器21内。此时，阀v4是关闭的，因此贮存于容器21内的溶液m1不会被输送到原料供给装置30、40。
51.接下来，控制装置90基于浮子传感器22的检测值来判定是否在容器21内贮存了规定量的溶液m1。规定量例如设定为原料供给装置40的容器41内所能够贮存的量。当判定为在容器21内贮存有规定量的溶液m1时，控制装置90如图3所示那样关闭阀v1、v2a、v2b，打开阀v3、v4、v6。由此，从供给源g3经由配管l3向缓冲装置20供给载气，从缓冲装置20经由配管l4、l6向原料供给装置40输送溶液m1。由此，在原料供给装置40的容器41内贮存规定量的溶液m1。另外，控制装置90如图3所示那样打开阀v11a、v11b、v16。由此，利用排气装置对原料供给装置40的容器41内进行排气，因此从容器41内的溶液m1中去除溶剂，在容器41内形成第二固体原料m2。此外，优选的是，在从容器41内的溶液m1中去除溶剂时，控制装置90控制加热部42来将容器41内的溶液m1加热到规定的温度。由此，促进溶剂的去除。规定的温度例如被设定为比使第二固体原料m2升华来生成反应性气体时的温度低。此外，在图3中示出了从容器41内的溶液m1中去除溶剂之前的状态。
52.接着，参照图4和图5来说明利用原料供给装置40进行反应性气体的向处理装置50的供给并在原料供给装置30中进行固体原料的填充的情况。图4和图5是用于说明原料供给系统1的动作的图。在图4和图5中，用粗实线表示流通有载气、溶液m1以及反应性气体的配管，用细实线表示未流通载气、溶液m1以及反应性气体的配管。另外，在图4和图5中，用空白的符号表示阀打开的状态，用涂黑的符号表示阀关闭的状态。此外，将原料供给系统1设为在初始状态下如图1所示那样所有阀都关闭。另外，设为如图4所示那样在原料供给装置40中贮存有第二固体原料m2来进行说明。
53.控制装置90控制原料供给装置40的加热部42，通过使容器41内的第二固体原料m2受热升华来生成反应性气体。另外，控制装置90打开阀v9a、v9b、v11a～v11c、v12。由此，从供给源g7经由配管l7、l9向原料供给装置40的容器41内注入载气，载气与在容器41内生成的反应性气体一起经由配管l11、l12被供给到处理装置50。
54.另外，控制装置90如图4所示那样打开阀v1、v2a、v2b。由此，从供给源g1向原料供
给源10供给载气，从原料供给源10经由配管l2向缓冲装置20输送溶液m1，溶液m1贮存于缓冲装置20的容器21内。此时，阀v4是关闭的，因此贮存于容器21内的溶液m1不会被输送到原料供给装置30、40。
55.接下来，控制装置90基于浮子传感器22的检测值来判定是否在容器21内贮存了规定量的溶液m1。规定量例如设定为原料供给装置30的容器31内所能够贮存的量。当判定为在容器21内贮存有规定量的溶液m1时，控制装置90如图5所示那样关闭阀v1、v2a、v2b，打开阀v3、v4、v5。由此，从供给源g3经由配管l3向缓冲装置20供给载气，从缓冲装置20经由配管l4、l5向原料供给装置30输送溶液m1。由此，在原料供给装置30的容器31内贮存规定量的溶液m1。另外，控制装置90如图5所示那样打开阀v10a、v10b、v14。由此，利用排气装置对原料供给装置30的容器31内进行排气，因此从容器31内的溶液m1中去除溶剂，在容器31内形成第二固体原料m2。此外，优选的是，在从容器31内的溶液m1中去除溶剂时，控制装置90控制加热部32来将容器31内的溶液m1加热到规定的温度。由此，促进溶剂的去除。规定的温度例如设定为比使第二固体原料升华来生成反应性气体时的温度低。此外，在图5中示出了从容器41内的溶液m1中去除溶剂之前的状态。
56.如以上所说明的那样，根据原料供给系统1，通过控制装置90控制阀的开闭，由此利用两个原料供给装置30、40中的一方向处理装置50供给反应性气体，在另一方中填充固体原料。由此，能够自动地向原料供给装置30、40补充原料，能够提高处理装置50的连续运转能力，从而提高处理装置50的工作效率。
57.另外，根据原料供给系统1，在原料供给源10与原料供给装置30、40之间设置有包括浮子传感器22的缓冲装置20。由此，能够在缓冲装置20内管理从原料供给源10输送的溶液m1的液量，将管理后的液量的溶液m1输送到原料供给装置30、40。因此，即使不在原料供给装置30、40设置浮子传感器也能够对贮存于原料供给装置30、40的溶液m1的液量进行管理。其结果，能够不受浮子传感器的耐热温度、热循环耐久性、动作可靠性等液位传感器的使用限制地在原料供给装置30、40中对溶液m1进行加热来进行升华。即，在原料供给装置30、40中，能够扩大与溶液m1的加热温度等有关的可使用范围。
58.〔第二实施方式〕
59.参照图6来说明第二实施方式的原料供给系统。图6是示出第二实施方式的原料供给系统的图。
60.原料供给系统1a与第一实施方式的原料供给系统1的不同之处在于，原料供给装置30a、40a分别包括将从缓冲装置20输送的溶液m1以喷雾的形式注入到容器31、41内的原料注入部34、44。此外，其它结构与第一实施方式的原料供给系统1相同，因此下面以不同的结构为中心进行说明。
61.原料供给装置30a贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。在本实施方式中，原料供给装置30a包括容器31、加热部32、压力计33以及原料注入部34。容器31贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。加热部32对通过从溶液m1中去除溶剂而形成的第二固体原料m2进行加热，由此使第二固体原料m2升华来生成反应性气体。加热部32例如可以是以覆盖容器31的底部及外周的方式配置的加热器。加热部32构成为能够将容器31内加热到能够使第二固体原料m2升华来生成反应性气体的温度。压力计33检测容器31的内压。检测出的容器31的内压被发送到控制装置90，控制装置90基于该内压对各种阀的开闭进行控制。例如，在该内压高于规定
的压力的情况下，控制装置90通过关闭阀v5来使不向容器31供给过剩的溶液m1。
62.原料注入部34将从缓冲装置20经由配管l4、l5输送的溶液m1以喷雾的形式注入到容器31内。原料注入部34通过将溶液m1形成为喷雾，来在溶液m1到达容器31的底部等之前使溶剂气化，从而使溶液m1作为第二固体原料m2堆积。原料注入部34例如可以是喷雾喷嘴。
63.原料供给装置40a贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。在本实施方式中，原料供给装置40a包括容器41、加热部42、压力计43以及原料注入部44。
64.容器41、加热部42、压力计43以及原料注入部44可以是与原料供给装置30a中的容器31、加热部32、压力计33以及原料注入部34相同的结构。
65.如以上所说明的那样，根据原料供给系统1a，通过与原料供给系统1同样地利用控制装置90控制阀的开闭，由此利用两个原料供给装置30a、40a中的一方向处理装置50供给反应性气体，在另一方中填充固体原料。由此能够自动地向原料供给装置30a、40a补充原料，能够提高处理装置50的连续运转能力，从而提高处理装置50的工作效率。
66.另外，根据原料供给系统1a，通过从原料注入部34、44将溶液m1以喷雾的形式注入到容器31、41内，来在溶液m1到达容器31、41的底部等之前使溶剂气化，使溶液m1作为第二固体原料m2堆积。这样，在原料供给系统1a中，由于使注入到容器31、41内的溶液m1在容器31、41的底部等作为固体进行堆积并进行贮存，因此能够增加每固定体积可贮存的固体原料的量。
67.另外，在原料供给系统1a中，使将固体原料溶解于溶剂所得到的溶液m1成为喷雾形式来使溶剂气化，从而使溶液m1作为第二固体原料m2暂时堆积于容器31、41的底部等，之后使第二固体原料m2升华并供给到处理装置50。由此，流量控制的简化、大流量化等控制变得容易。
68.另外，根据原料供给系统1a，与原料供给系统1同样地在原料供给源10与原料供给装置30a、40a之间设置有包括浮子传感器22的缓冲装置20。由此，能够在缓冲装置20内管理从原料供给源10输送的溶液m1的液量，将管理后的液量的溶液m1输送到原料供给装置30a、40a，并从原料注入部34、44向容器31、41内进行喷雾。因此，能够对通过设为喷雾形式来使溶剂气化从而堆积在容器31、41内的第二固体原料m2的贮藏量进行管理。
69.〔第三实施方式〕
70.参照图7来说明第三实施方式的原料供给系统。图7是示出第三实施方式的原料供给系统的图。
71.原料供给系统1b与第一实施方式的原料供给系统1的不同之处在于，容器31、41内分别形成为多层。此外，其它结构与第一实施方式的原料供给系统1相同，因此下面以不同的结构为中心进行说明。
72.原料供给装置30b贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。在本实施方式中，原料供给装置30b包括容器31、加热部32、压力计33、分隔板35、36以及贯通管37、38。
73.容器31、加热部32以及压力计33可以与第一实施方式的原料供给装置30相同。
74.分隔板35设置于容器31内，将容器31内在上下方向上划分为两个区域。分隔板35由例如不锈钢、镍合金等不使溶液、固体原料以及反应性气体透过的材料形成。
75.分隔板36设置于容器31内的分隔板35的下方，将容器31内的分隔板35的下方的区域在上下方向上划分为两个区域。分隔板36例如由与分隔板35的材料相同的材料形成。
76.贯通管37以将分隔板35沿厚度方向(上下方向)贯通的方式设置，溶液和反应性气体经由贯通管37通过分隔板35。贯通管37的从分隔板35的上表面向上方延伸的高度是能够确保所需的原料的量的程度的高度。贯通管37在分隔板35的面内设置有一个以上(在图示的例子中为两个)。
77.贯通管38以将分隔板36沿厚度方向(上下方向)贯通的方式设置，溶液和反应性气体经由贯通管38通过分隔板36。贯通管38的从分隔板36的上表面向上方延伸的高度是能够确保所需的原料的量的程度的高度。贯通管38在分隔板36的面内设置有一个以上(在图示的例子中为一个)。
78.通过像这样在容器31内有设置分隔板35、36，由此从缓冲装置20输送到容器31内的溶液被贮存于分隔板35上、分隔板36上以及容器31的底面上。因此，贮存于容器31内的溶液的每单位体积的表面积即比表面积变大，因此够缩短从溶液中去除溶剂的时间。另外，能够增加使通过从溶液中去除溶剂而形成的固体原料升华来生成的反应性气体的量。
79.原料供给装置40b贮存从缓冲装置20输送的溶液m1。在本实施方式中，原料供给装置40b包括容器41、加热部42、压力计43、分隔板45、46以及贯通管47、48。
80.容器41、加热部42、压力计43、分隔板45、46以及贯通管47、48可以是与原料供给装置30b中的容器31、加热部32、压力计33、分隔板35、36以及贯通管37、38相同的结构。
81.通过像这样在容器41内设置有分隔板45、46，由此从缓冲装置20输送到容器41内的溶液被贮存于分隔板45上、分隔板46上以及容器41的底面上。因此，贮存于容器41内的溶液每单位体积的表面积即比表面积变大，因此能够缩短从溶液中去除溶剂的时间。另外，能够增加使通过从溶液中去除溶剂而形成的固体原料升华来生成的反应性气体的量。
82.如以上所说明的那样，根据原料供给系统1b，与原料供给系统1同样地通过控制装置90控制阀的开闭来利用两个原料供给装置30b、40b中的一方向处理装置50供给反应性气体，在另一方中填充固体原料。由此，能够自动地向原料供给装置30b、40b补充原料，能够提高处理装置50的连续运转能力，从而提高处理装置50的工作效率。
83.另外，根据原料供给系统1b，与原料供给系统1同样地在原料供给源10与原料供给装置30b、40b之间设置有包括浮子传感器22的缓冲装置20。由此，能够在缓冲装置20内管理从原料供给源10输送的溶液m1的液量，将所管理的液量的溶液m1输送到原料供给装置30b、40b。因此，即使不在原料供给装置30b、40b设置浮子传感器也能够对贮存于原料供给装置30b、40b的溶液m1的液量进行管理。其结果，能够不受浮子传感器的耐热温度、热循环耐久性、动作可靠性等液位传感器的使用限制地在原料供给装置30b、40b中对溶液m1进行加热来进行升华。即，在原料供给装置30b、40b中，能够扩大与加热溶液m1的温度等有关的可使用范围。
84.另外，根据原料供给系统1b，容器31、41内分别形成为多层。由此，从缓冲装置20输送到容器31、41内的溶液被贮存于分隔板35、45上、分隔板36、46上以及容器31、41的底面上。因此，贮存于容器31、41内的溶液的每单位体积的表面积即比表面积变大，因此能够缩短从溶液中去除溶剂的时间。另外，能够增加使通过从溶液中去除溶剂而形成的固体原料升华来生成的反应性气体的量。
85.此外，在第三实施方式中，说明了第一实施方式的原料供给系统1的容器31、41内分别形成为多层的情况，但本公开不限定于此。例如，也可以是，第二实施方式的原料供给
系统1a的容器31、41内分别形成为多层。
86.此外，在上述的实施方式中，缓冲装置20是第一贮存部的一例，原料供给装置30、30a、30b、40、40a、40b是第二贮存部的一例，浮子传感器22是探测部的一例。另外，配管l10、l11是排气端口的一例，原料注入部34、44是注入部的一例。控制装置90是控制部的一例。
87.应当认为本次公开的实施方式在所有方面均为例示，而非限制性的。上述的实施方式也可以不脱离所附的权利要求书及其主旨地以各种方式进行省略、置换、变更。
88.在上述的实施方式中，说明了使通过从溶液m1中去除溶剂而形成的第二固体原料m2升华来生成反应性气体并利用处理装置50使用所生成的反应性气体来进行成膜的系统，但本公开不限定于此。例如，也能够不使用溶液m1，使用将第一固体原料分散于溶剂所得到的浆料(slurry)、将第一固体原料分散于溶剂所得到的溶胶(sol)等分散系(dispersion)。例如，通过使用溶胶，相比于使用溶液m1、浆料的情况而言，能够填充浓度更高的前体。此外，浆料也被称为悬浊液(suspension)。另外，溶胶也被称为胶体溶液(colloidal solution)。
89.本国际申请主张以2020年3月17日申请的日本专利申请第2020-046446号以及2020年7月8日申请的日本专利申请第2020-118056号为基础的优先权，将该申请的全部内容引用到在本国际申请中。
90.附图标记说明
91.1、1a、1b：原料供给系统；20：缓冲装置；22：浮子传感器；30、30a、30b、40、40a、40b：原料供给装置；32、42：加热部。