技术编号:31995868
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开总体上涉及基片处理领域,例如基片的薄膜涂覆。背景技术.基片的真空处理在本领域中是众所周知的,并且有时被称为薄膜处理。通常,薄膜处理系统可在以下三种架构中的一种下进行划分:批量处理、集群系统和在线系统。这些架构中的每一种的优点和缺点在本领域中是众所周知的。.在一些系统架构中,尤其是在那些用于制造微芯片的系统架构中,基片单独输送到处理腔室中,并放置在卡盘或基座上。相反,在其他系统中,例如在那些用于硬盘驱动器或太阳能电池制造的系统中,基片在被定位在基片承载件上的同时被输送和处理。.本领...
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