技术编号：32025530
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种移门，特别是一种晶圆甩干机自动移门，属于晶圆清洗设备技术领域。背景技术.晶圆在进行清洗后需要通过晶圆甩干机进行甩干，目前市面上的晶圆甩干机的门结构通常采用的是铰链旋转结构。这种铰链结构的开门结构，开门时门板向外侧翻开，占用过道空间，容易发生碰撞，造成设备损坏，也可能造成人员受伤或者晶圆的损伤。为了避免这种碰撞，设备实际占用空间大大加大，增加了生产成本。而且铰链开门的结构，容易阻碍机械臂从甩干机内部抓取晶圆，对机械臂的设计及控制要求高，从而增大了机械臂的成本。实用新型内容...
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