一种晶圆甩干机自动移门的制作方法

1.本实用新型涉及一种移门，特别是一种晶圆甩干机自动移门，属于晶圆清洗设备技术领域。


背景技术：

2.晶圆在进行清洗后需要通过晶圆甩干机进行甩干，目前市面上的晶圆甩干机的门结构通常采用的是铰链旋转结构。这种铰链结构的开门结构，开门时门板向外侧翻开，占用过道空间，容易发生碰撞，造成设备损坏，也可能造成人员受伤或者晶圆的损伤。为了避免这种碰撞，设备实际占用空间大大加大，增加了生产成本。而且铰链开门的结构，容易阻碍机械臂从甩干机内部抓取晶圆，对机械臂的设计及控制要求高，从而增大了机械臂的成本。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆甩干机自动移门，解决现有技术占用空间大、阻碍机械手抓取晶圆的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
5.一种晶圆甩干机自动移门，其特征在于：包含门板、移门门体、锁门气缸、滑块、导轨和竖直气缸，移门门体固定在门板内侧，门板的两侧与锁门气缸连接由锁门气缸驱动沿水平方向移动，锁门气缸固定在滑块上，导轨竖直设置，滑块滑动设置在导轨上，滑块与竖直气缸连接由竖直气缸驱动沿竖直方向升降。
6.进一步地，所述门板的两侧设置有支撑板，支撑板呈l型，支撑板的一侧固定在门板两侧侧面，支撑板的另一侧与锁门气缸连接。
7.进一步地，所述门板两侧分别设置两个锁门气缸，两个锁门气缸沿竖直方向分布并固定在滑块前侧。
8.一种晶圆甩干机自动移门，其特征在于：包含门板、移门门体、锁门气缸、滑块、导轨和竖直气缸，移门门体与锁门气缸连接由锁门气缸驱动沿水平方向移动，锁门气缸固定在门板内侧，门板与滑块固定连接，导轨竖直设置，滑块滑动设置在导轨上，滑块与竖直气缸连接由竖直气缸驱动沿竖直方向升降。
9.进一步地，所述门板的两侧设置有支撑板，支撑板呈l型，支撑板的一侧固定在门板两侧侧面，支撑板的另一侧与滑块固定连接。
10.进一步地，所述门板的内侧开有与移门门体匹配的凹槽，移门门体的两侧分别设置有两个锁门气缸，两个锁门气缸沿竖直方向分布并且固定在门板的凹槽内。
11.进一步地，所述导轨的上端和下端分别设置有一个限位螺母。
12.进一步地，所述滑块通过连接块与竖直气缸的活塞杆端部连接，连接块呈l型，连接块一侧水平固定在竖直气缸的活塞杆上端，连接块另一侧竖直向下延伸并且与滑块的内侧面固定连接。
13.进一步地，所述移门门体的外侧边沿设置有气囊。
14.进一步地，晶圆甩干机开口处设置有与移门门体匹配的密封圈。
15.本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门通过竖直气缸驱动移门上下滑动，然后通过锁门气缸驱动移门前后移动，通过上下移动实现门板的竖直升降从而使门板开门后依然紧贴在甩干机外侧，占用空间小，且门板可以远离甩干机开口，对机械手无任何干扰，前后移动实现门板的闭合，整个移门结构简单紧凑，解决了现有技术占用空间大、阻碍机械手抓取晶圆的问题，从而降低了生产成本。
附图说明
16.图1是本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门的主视图。
17.图2是本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门的侧视图。
18.图3是本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门的另一种实施例的侧视图。
具体实施方式
19.为了详细阐述本实用新型为达到预定技术目的而所采取的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部的实施例，并且，在不付出创造性劳动的前提下，本实用新型的实施例中的技术手段或技术特征可以替换，下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
20.实施例1：
21.如图1和图2所示，本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门，包含门板1、移门门体2、锁门气缸3、滑块4、导轨5和竖直气缸6，移门门体2固定在门板1内侧面的中心位置，移门门体2为与晶圆晒干机的开口匹配的圆形门体。门板1是两侧对称的八边形结构，门板1的两侧与锁门气缸3连接由锁门气缸3驱动沿水平方向移动。锁门气缸3固定在滑块4上，导轨5竖直设置并固定在晶圆甩干机上，滑块4的两侧分别开有一个与导轨匹配的竖直通孔，滑块4通过两个竖直通孔分别套设在两根导轨5上并且滑块4与导轨5滑动设置，滑块4与竖直气缸6连接由竖直气缸6驱动沿竖直方向升降。
22.门板1的两侧设置有支撑板7，支撑板7呈l型，支撑板7的一侧固定在门板1两侧侧面上，支撑板7的另一侧与锁门气缸3连接。门板1两侧分别设置两个锁门气缸3，两个锁门气缸3沿竖直方向分布并固定在滑块4前侧面上。
23.导轨5的上端和下端分别设置有一个限位螺母8，通过两个限位螺母8对滑块4在导轨5的上下滑动位置进行限位。
24.滑块4通过连接块9与竖直气缸6的活塞杆端部连接，连接块9呈l型，连接块9一侧水平固定在竖直气缸6的活塞杆上端，连接块9另一侧竖直向下延伸并且与滑块4的内侧面固定连接。通过连接块9对导轨5与竖直气缸6的上下位置进行补偿，从而使竖直气缸6位于导轨5的后侧，从而是整体的结构更加的紧凑。
25.移门门体2的外侧边沿设置有气囊10。当移门门体2盖合在晶圆甩干机的开口内时，气囊10充气从而将移门门体2与晶圆甩干机开口之间间隙密封。
26.本实施例的一种晶圆甩干机自动移门的工作原理为：关门时，竖直气缸6充气从而
通过连接块9带动滑块4沿着导轨5向上滑动，滑块4移动到导轨5上端时，竖直气缸6停止充气（竖直气缸6控制可以在滑块4侧面设置一个感应开关11，通过感应开关11来检测滑块4的位置）。此时锁门气缸3收缩将移门门体2连同门板1一起向内侧驱动使移门门体2塞入晶圆甩干机的开口内，当移门门体2完全塞入晶圆甩干机内时（该状态可以在门板1内侧面安装感应器12来检测），气囊10充气将移门门体2与晶圆甩干机开口之间间隙密封。开门时与关门步骤相反。
27.实施例2：
28.如图1和图2所示，本实用新型的一种晶圆甩干机自动移门，包含门板1、移门门体2、锁门气缸3、滑块4、导轨5和竖直气缸6，移门门体2固定在门板1内侧面的中心位置，移门门体2为与晶圆晒干机的开口匹配的圆形门体。门板1是两侧对称的八边形结构，门板1的两侧与锁门气缸3连接由锁门气缸3驱动沿水平方向移动。锁门气缸3固定在滑块4上，导轨5竖直设置并固定在晶圆甩干机上，滑块4的两侧分别开有一个与导轨匹配的竖直通孔，滑块4通过两个竖直通孔分别套设在两根导轨5上并且滑块4与导轨5滑动设置，滑块4与竖直气缸6连接由竖直气缸6驱动沿竖直方向升降。
29.门板1的两侧设置有支撑板7，支撑板7呈l型，支撑板7的一侧固定在门板1两侧侧面上，支撑板7的另一侧与锁门气缸3连接。门板1两侧分别设置两个锁门气缸3，两个锁门气缸3沿竖直方向分布并固定在滑块4前侧面上。
30.导轨5的上端和下端分别设置有一个限位螺母8，通过两个限位螺母8对滑块4在导轨5的上下滑动位置进行限位。
31.滑块4通过连接块9与竖直气缸6的活塞杆端部连接，连接块9呈l型，连接块9一侧水平固定在竖直气缸6的活塞杆上端，连接块9另一侧竖直向下延伸并且与滑块4的内侧面固定连接。通过连接块9对导轨5与竖直气缸6的上下位置进行补偿，从而使竖直气缸6位于导轨5的后侧，从而是整体的结构更加的紧凑。
32.晶圆甩干机开口处设置有与移门门体2匹配的密封圈。当移门门体2盖合在晶圆甩干机的开口内时，移门门体2的内侧边沿压合在晶圆甩干机开口的密封圈外侧，从而形成密封。
33.关门时，竖直气缸6充气从而通过连接块9带动滑块4沿着导轨5向上滑动，滑块4移动到导轨5上端时，竖直气缸6停止充气（竖直气缸6控制可以在滑块4侧面设置一个感应开关11，通过感应开关11来检测滑块4的位置）。此时锁门气缸3收缩将移门门体2连同门板1一起向内侧驱动使移门门体2压合在晶圆甩干机的开口外侧密封圈上，锁门气缸3充气气路封闭使锁门气缸3保持压合状态和气压。开门时与关门步骤相反。
34.实施例3：
35.一种晶圆甩干机自动移门，包含门板1、移门门体2、锁门气缸3、滑块4、导轨5和竖直气缸6，移门门体1与锁门气缸3连接由锁门气缸3驱动沿水平方向移动，锁门气缸3固定在门板1内侧，门板1与滑块4固定连接，导轨5竖直设置，滑块4滑动设置在导轨5上，滑块4与竖直气缸6连接由竖直气缸6驱动沿竖直方向升降。
36.门板1的两侧设置有支撑板7，支撑板7呈l型，支撑板7的一侧固定在门板1两侧侧面，支撑板7的另一侧与滑块4固定连接。
37.门板1的内侧开有与移门门体2匹配的凹槽，移门门体2的外侧边沿滑动设置在门
板1的凹槽内。移门门体2的两侧分别设置有两个锁门气缸3，两个锁门气缸3沿竖直方向分布并且固定在门板1的凹槽内的两侧。
38.导轨5的上端和下端分别设置有一个限位螺母8，通过两个限位螺母8对滑块4在导轨5的上下滑动位置进行限位。
39.滑块4通过连接块9与竖直气缸6的活塞杆端部连接，连接块9呈l型，连接块9一侧水平固定在竖直气缸6的活塞杆上端，连接块9另一侧竖直向下延伸并且与滑块4的内侧面固定连接。通过连接块9对导轨5与竖直气缸6的上下位置进行补偿，从而使竖直气缸6位于导轨5的后侧，从而是整体的结构更加的紧凑。
40.移门门体2的外侧边沿设置有气囊10。当移门门体2盖合在晶圆甩干机的开口内时，气囊10充气从而将移门门体2与晶圆甩干机开口之间间隙密封。
41.本实施例的一种晶圆甩干机自动移门的工作原理为：关门时，竖直气缸6充气从而通过连接块9带动滑块4沿着导轨5向上滑动，滑块4移动到导轨5上端时，竖直气缸6停止充气（竖直气缸6控制可以在滑块4侧面设置一个感应开关11，通过感应开关11来检测滑块4的位置）。此时锁门气缸3伸长将移门门体2从门板1凹槽内推出，使移门门体2塞入晶圆甩干机的开口内，当移门门体2完全塞入晶圆甩干机内时（该状态可以在门板1内侧面安装感应器12来检测），气囊10充气将移门门体2与晶圆甩干机开口之间间隙密封。开门时与关门步骤相反。
42.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。