技术编号:32312232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于加速度计技术领域,具体涉及最佳工作点可调的硅纳米线阵列式加速度计及其加工方法。背景技术.硅纳米线是一种新型的一维纳米材料,外界环境的微妙变化就能够引起材料本身性质的剧烈变化,使得硅纳米线器件具有很高的灵敏性。目前,市面上的硅纳米线器件无法根据实际应用场景进行适应性调整,故而无法达到最佳工作点。发明内容.本发明的目的是针对上述问题,提供最佳工作点可调的硅纳米线阵列式加速度计及其加工方法。.为了实现以上目的,本发明采用以下技术方案:.最佳工作点可调的硅纳米线阵列式加速度计的加工...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。