技术编号：32394908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及多轴运动控制技术领域，具体涉及一种适用于光刻机照明系统的多轴控制系统。背景技术.在浸没光刻机照明系统中，均匀性校正组件和光瞳校正组件均采用音圈电机作为执行器驱动手指来对光场和光瞳进行校正，其中均匀性校正组件和光瞳校正组件所使用的电机数量总共近百个，现有的多轴控制系统在系统集成上非常不友好，在浸没光刻机照明系统中，若采用现有的多轴控制系统来控制近百路电机运动，则总体积将远远超出控制器的物理空间约束需求，同时，接线也异常复杂，因此，针对浸没光刻机照明系统的近百路电机的控制，需要重新研...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。