技术编号:3244864
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高温下不变形钨丝加热装置及专用的钨丝绕制支架,尤其是一种热解化学气相沉积(CVD)系统中不变形钨丝加热装置专用的钨丝绕制支架。热丝CVD系统中,化学反应的能量是靠钨丝发热提供的,衬底也是靠钨丝的热辐射而加热到一定的生长温度的。因而钨丝的形状对衬底表面的温度均匀性有很大的影响,而衬底表面的温度均匀性又是影响膜成核和生长均匀性的一个非常重要的因素。在通常的实验室CVD小型和中型系统中,钨丝都是绕成螺线管状的。这种绕法相对简单,每一匝都能具有相同的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。