技术编号:32463739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及高k薄膜前驱体有机胺金属配合物的合成技术领域,尤其涉及一种四二甲氨基金属配合物的制备与纯化装置。背景技术.高k薄膜前驱体是半导体行业的研究热点之一,主要是形成晶体管上的栅介质层,该材料主要的优点是具有良好的热力学稳定性,在成膜过程中不会分解;较高的反应活性,能与硅衬底发生吸附反应;不含有f和cl元素,避免生成的副产物还有酸性和腐蚀性。.现有的四二甲氨基金属配合物生产过程中,需要搭建反应装置,反应装置由进料口、出料口、温度控制装置、压力控制装置以及显示系统等部分组成,在得到反...
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