技术编号:32472132
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及分离装置技术领域,尤其涉及一种气液分离装置。背景技术.在薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)生产行业中,玻璃基板在腔室内进行水清洗或药液刻蚀工艺时,会将腔室内的废气进行排放,由于废气中含有液体,例如水、药液等,因此在废气排放之前需要经过气液分离处理,以便将药液进行回收再利用,减少排气管内壁积水现象,防止液体腐蚀排气管,以及尽可能的防止含有药液的气体排放至空气中污染环境。.现有技术中的气液分离装置通常只经过一道过滤网进行水汽分离,分离效果不太理想,使药液难以充分回收再利用,...
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